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精密真空蒸镀机
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| 申购单主题： | 精密真空蒸镀机 | 申购单位： | **** | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2026-06-10 16:01:46 | 申购备注： |
| 精密真空蒸镀机 | **市昭明仪器设备 | M400 | 1 |
| 规格 |
| 真空室 数目 单室结构 材料 304不锈钢，焊接而成 形式 方箱形结构，配两个观察窗 尺寸 445×400×450mm 门密封 氟橡胶密封 观察窗 Φ60mm 上下各1个 接口类型 备用KF/CF接口若干 开启方式 正面左侧轴向开启 真空测量系统 真空规 电阻规ZJ-52T（1×105 - 1×10-1Pa） 电离规ZJ-27（1×10-5 - 10.0Pa） 真空计 复合真空计，数控集成,带模拟量输出 基片系统 卡槽尺寸 100mm*100mm 基片旋转 自动化控制，转速0-20rpm 真空系统 电控高真空阀门 1.高真空阀门采用超高真空蝶阀 DN100 2.预抽阀门采用超高真空角阀 KF25 3.放气阀门采用超高真空截止阀 KF25 管道/接口 CF接头、KF接头、精密不锈钢管、压制波纹管、快卸接头以及双卡套接头一批 一级泵 飞越双级旋片式真空泵1台 二级泵 世纪久泰分子泵 1套 工作腔室极限真空度 6.75*10-6Torr、9.0*10-4Pa 冷却系统 真空泵 分子泵风冷系统 蒸镀电极 水冷 膜厚探头 水冷 膜厚系统 膜厚仪 QCM压电陶瓷膜厚仪1套:包含水冷探头，探测精度0.1 探头 探头位置、高度可调节 晶振片 晶振片6MHz镀金石英片，含晶振寿命监测 通道数 单通道 控制系统 全触屏一体化控制 高集成触摸屏系统，所有操作全触屏控制，实现对机械泵、分子泵、真空阀、放气阀阀门、托盘转速等精确控制; 实时监测 实时监测并显示分子泵状态、膜厚、真空度、镀膜厚度、晶振寿命等，满足多样化、定制化制作工艺需求； 电源标准 标准16A插头接入 AC220V ，50/60Hz； 蒸镀系统 电阻蒸发源 3组水冷热蒸发源，蒸镀过程中可真空切换（可选钨舟、钼舟、陶瓷坩埚等） 蒸发电流 0-100A电流，反馈调节准确控制，可根据具体需求定制 挡板操作 电动控制挡板源1个 设备功率 整机功率 功率输出:≦5000W 机架 结构 型钢焊接封闭式框架 宽880*深517*高1626mm |
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2026-06-10
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