关于安徽瑞晶半导体有限公司晶背减薄及金属化制造项目环境影响报告表批前公示

项目名称

晶背减薄及金属化制造项目环境影响报告表

建设地点

**大道以西、纬二路以北、太赫兹大道以东

建设单位

****

环评机构

****研究院****公司

公示时间

2026.6.11-2026.6.18

项目概况

**厂房及生产线，主要包含1#车间、办公楼、甲类仓库、丙类仓库、供氢站、柴油储罐、大宗气体站、事故池、初期雨水池，其中1#车间主要为生产区、****处理站、研发区。项目建成后形成年产48万片12英寸晶圆的生产能力。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、地表水环境：研磨废水通过研磨废水处理系统进行处理，含氨废水、酸液喷淋塔废水、有机废水通过有机废水处理系统进行处理，含氟废水通过含氟废水处理系统进行处理。含氰含金废水通过含氰废水处理系统进行破氰处理，处理后的废水进入MVR蒸发系统。含锌镍废水、含镍废水、含钯废水和破氰后的含金废水进入2套MVR蒸发系统（为有效预防非正常工况，本项目在MVR系统后端预留一套RO膜），处理后的冷凝水经酸碱废水系统处理后排入厂区污水总排口，浓缩液作为危废进行委外处置，不外排。晶圆清洗、背面刻蚀、CLD工序、晶舟清洗、回收控片清洗产生的一般酸碱废水、冷凝水、初期雨水、纯水站制备产生的浓水、循环冷却系统排水、锅炉房排水及经预处理后的含氟废水、含氨废水、研磨废水、有机废水、酸液喷淋塔废水、碱液喷淋塔废水等全部生产废水均通过酸碱废水处理系统进行处理，处理后的废水排入厂区污水总排口；生活污水通过化粪池处理（食堂废水先经隔油池处理）后排入总排口。

2、大气环境：有机废气收集进入一套沸石转轮+RTO装置处理后经1根30m高DA001排气筒排放；磷离子和硼离子注入工序的工艺废气（磷化氢、三氟化硼）通过电流离子注入机自带的POU吸附净化处理后和酸性废气经收集后通过一套碱液喷淋塔处理后经1根30m高DA002排气筒排放；碱性废气等经一套酸液喷淋塔处理后通过一根30m高排气筒DA003排放；天然气锅炉设置低氮燃烧器，燃烧废气通过一根27m高DA004排气筒排放；CLD金属金沉积工艺产生的废气（甲醛、甲醇、氰化氢、非甲烷总烃）和MVR系统的不凝气（甲醛、甲醇、氰化氢、非甲烷总烃）经一套二级氧化塔+除雾塔+二级活性炭吸附处理后通过1根30m高DA005排气筒排放；甲类化学品剧毒气瓶间气柜中钢瓶气体磷化氢发生气体事故泄漏情况下，事故气体磷化氢通过一套干式化学吸附处理塔（吸附效率为80%）处理后排放，柴油储罐产生的大小呼吸废气无组织排放；食堂油烟废气经油烟净化器处理后排放。

3、声环境：选用低噪设备，合理安排施工机械安放位置和施工时间，并针对性采取隔声消声、减振、距离衰减等措施降低噪声。

4、固体废物：建设一般固废和危险废物暂存库，一般固废经收集后，暂存于固废仓库，收集后外售；危险废物储存于危废仓库内，定期交由有资质单位处置。生活垃圾交由环卫部门统一清运。

5、环境风险：强化环境风险防范和应急措施。

公众参与情况

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有关部门意见

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