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| **** | 建设单位代码类型:|
| 914********4342020 | 建设单位法人:万烨 |
| 冯慧姝 | 建设单位所在行政区划:**省**市**县 |
| **市****开发区**省**市****开发区华夏大道101号 |
| 中硅高科电子信息材料转型升级二期项目(第二批)-实验室建设项目 | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别(国民经济代码):M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点: | **省**市**县 **省**市**区******开发区华夏大道101号 |
| 经度:112.507040 纬度: 34.866110 | ****机关:****环境局**分局 |
| 环评批复时间: | 2025-02-21 |
| 孟环告知〔2025〕4号 | 本工程排污许可证编号:无 |
| 项目实际总投资(万元): | 1965.05 |
| 67 | 运营单位名称:**** |
| 914********4342020 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 914********4342020 | 验收监测单位:******公司 |
| ****0304MA47TMGD7Q | 竣工时间:2026-03-10 |
| 调试结束时间: | |
| 2026-05-15 | 验收报告公开结束时间:2026-06-11 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=60515Hj9v0 |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 建设8****实验室,8种实验包括:晶体沉积区-锑制备,新能源、硅碳负极区实验,前驱体材料纯化实验,金属前驱体合成实验,硅基前驱体合成实验,石英砂合成实验,惰性气体前驱体合成及纯化实验,晶体沉积区-氮化硅制备 | 实际建设情况:建设8****实验室,8种实验包括:晶体沉积区-锑制备,新能源、硅碳负极区实验,前驱体材料纯化实验,金属前驱体合成实验,硅基前驱体合成实验,石英砂合成实验,惰性气体前驱体合成及纯化实验,晶体沉积区-氮化硅制备 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 锑制备试验工艺:还原合成 氮化硅粉体合成试验工艺:氨解、洗涤干燥、高温煅烧 碳化硅粉体合成试验工艺:气相沉积 硅氧烷前驱体纯化试验工艺:精馏除杂 金属前驱体合成试验工艺:反应、过滤、精馏 硅基前驱体合成试验工艺:反应、除盐、精馏 石英砂粉体合成试验工艺:液相水解、干燥粉碎、烧结成型 惰性气体前驱体合成、纯化工艺试验工艺:反应、固液分离、精馏 | 实际建设情况:锑制备试验工艺:还原合成 氮化硅粉体合成试验工艺:氨解、洗涤干燥、高温煅烧 碳化硅粉体合成试验工艺:气相沉积 硅氧烷前驱体纯化试验工艺:精馏除杂 金属前驱体合成试验工艺:反应、过滤、精馏 硅基前驱体合成试验工艺:反应、除盐、精馏 石英砂粉体合成试验工艺:液相水解、干燥粉碎、烧结成型 惰性气体前驱体合成、纯化工艺试验工艺:反应、固液分离、精馏 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 水吸收+碱液吸收5套、热氧化+旋风除尘+二级淋洗1套、两级活性炭吸附1套、1根15m高排气筒; | 实际建设情况:新能源、硅碳负极区、前驱体材料纯化区实验废气:依托电子信息材料转型升级二期项目(第一批)的“热氧化+旋风除尘+二级淋洗+15m排气筒×2(1用1备)”金属前驱体合成区、硅基前驱体合成、石英砂合成实验区、惰性气体前驱体合成及纯化、晶体沉积区-锑制备实验废气:前端活性炭吸附(5个实验各1个,共5个)+水吸收+碱液吸(1#)+末端活性炭吸附(1个)+15m高排气筒(DA029);晶体沉积区-氮化硅制备实验废气:前端活性炭吸附(1个)+水吸收+碱液吸(2#)+末端活性炭吸附(1个)+15m高排气筒(DA030) |
| 1、在环评及批复阶段,新能源、硅碳负极区和前驱体材料纯化区原计划**“热氧化+旋风除尘+二级淋洗”废气治理设施。经核查,建设单位已建成的电子信息材料转型升级二期项目(第一批)中,同类废气的“热氧化+旋风除尘+二级淋洗”处理设施运行稳定,处理效率满足环保要求,且设计风量为3500m3/h,实际运行中最大废气量2700m3/h,富余处理能力800m3/h可满足本项目废气量100m3/h的处理需求。将本实验室该区域的废气治理设施来源由**调整为依托现有,可充分利用现有资产,避免重复投资和**浪费。 新能源、硅碳负极区和前驱体材料纯化区实验废气污染物主要为硅烷、乙炔、甲级三甲氧基硅烷(MTMS)、苯基三甲氧基硅烷(PTMS)等,环评及批复阶段,该废气设计核心处理工艺主要为“热氧化+旋风除尘+二级淋洗”。在高温与充足氧气条件下,有机污染物(VOCs)经热氧化发生氧化反应,转化为 CO2、H2O等物质,VOCs 去除率可达95%以上,活性炭吸附非实现达标排放的核心必要单元。2、环评批复阶段设计金属前驱体合成区、硅基前驱体合成、石英砂合成实验区、惰性气体前驱体合成及纯化、晶体沉积区-锑制备、晶体沉积区-氮化硅制备等6个实验区域废气设置“6套‘水吸收+碱液吸’+活性炭(共用1套)+1根15m排气筒”。实际建设过程中,考虑到各区域废气性质和处理工艺的相似性以及平面布置等因素,共设置2套“活性炭+水淋洗+碱液吸收+15m排气筒”,其中晶体沉积区-氮化硅制备废气单独设置1套,剩余5个区域废气治理共用1套。从实验特殊性角度分析,晶体沉积区-氮化硅制备需单独设置活性炭和排气筒的原因如下:实验物料特殊性,氮化硅制备过程中产生的废气中NH3与HCl摩尔比较大,易形成超细铵盐颗粒物(粒径0.1~1μm),独立活性炭单元可针对性优化吸附参数,避免与其他工艺废气中的HCl混合导致吸附剂堵塞。剩余5个区域废气共用1套“水淋洗+碱液吸收”主要原因在于实验废气排放量小、排放浓度低、间歇性排放、无连续高负荷产污,共用1套即可满足排放要求。活性炭置于水淋洗前段可防止液态吸收剂中的水分对活性炭吸附效率产生不利影响,同时避免吸收剂雾滴进入活性炭床层造成堵塞,提升活性炭的吸附效果和使用寿命。 | 是否属于重大变动:|
| 废水治理措施:净循环冷却水系统排污水及经化粪池预处理后的生活****园区污水处理厂,排放方式为间接排放,排放污染物种类为pH,COD,BOD5,氨氮、SS、溶解性总固体、氯化物。 项目工艺废气淋洗塔排水、实验仪器清洗废水、石英砂合成废水依托厂内现有的“篮式过滤器过滤+树脂吸附+活性炭吸附”预处理后同原水预处理系统浓水依托厂内现有酸性废水处理系统处理,中水回用于废气淋洗塔,不外排。 | 实际建设情况:废水治理措施:净循环冷却水系统排污水及经化粪池预处理后的生活****园区污水处理厂,排放方式为间接排放,排放污染物种类为pH,COD,BOD5,氨氮、SS、溶解性总固体、氯化物。 项目工艺废气淋洗塔排水、实验仪器清洗废水、石英砂合成废水依托厂内现有的“篮式过滤器过滤+树脂吸附+活性炭吸附”预处理后同原水预处理系统浓水依托厂内现有酸性废水处理系统处理,中水回用于废气淋洗塔,不外排。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
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| 0 | 0 | 0.952 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
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| 0 | 0 | 0.817 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
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| 0 | 0.0003 | 0.0004 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0033 | 0.0065 | 0 | 0 | 0.003 | 0.003 | / |
| 1 | 依托现有“篮式过滤器过滤+树脂吸附+活性炭吸附”预处理后依托一期工程酸性废水处理系统处理,不外排;净循环水排污废水和纯水制备废水,直接排入厂区废水管网 | 《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表1间接排放限值,《化工行业水污染物间接排放标准》(DB41/1135-2016)中表2间接排放限值,《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1 A级限值 | 依托现有“篮式过滤器过滤+树脂吸附+活性炭吸附”预处理后依托一期工程酸性废水处理系统处理,不外排;净循环水排污废水和纯水制备废水,直接排入厂区废水管网 | 厂区废水总排口处pH值7.4~7.5,化学需氧量浓度最大值为33mg/L,总氮浓度最大值为29.7mg/L,氟化物浓度最大值为1.36mg/L,氨氮浓度最大值为13.6mg/L,悬浮物浓度最大值为58mg/L,氯化物浓度最大值为146mg/L,溶解性总固体浓度最大值为431mg/L,厂区总排口pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、悬浮物的最大排放浓度可满足《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表1间接排放限值要求,溶解性总固体的最大排放浓度可满足《化工行业水污染物间接排放标准》(DB41/1135-2016)中表2间接排放限值要求;氯化物满足《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1 A级限值要求 |
| 1 | 6套“水吸收+碱液吸收”+二级活性炭 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级排放限值,《**省重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南(2024年修订版)》(豫环办[2024]72号)中**省通用涉 PM 企业绩效引领性指标以及**省通用涉VOCs 企业绩效引领性指标,《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93),《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015) | 6套前段活性炭+2套“水吸收+碱液吸收”+末端活性炭 | DA029排气筒非甲烷总烃、氨均未检出,HCl最大排放浓度5.5mg/m3、排放速率0.017kg/h;DA030排气筒非甲烷总烃、氯化氢、颗粒物均未检出,锑及其化合物最大排放浓度0.000288mg/m3、排放速率6.13×10-10kg/h,满足参照的《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)要求,同时颗粒物、非甲烷总烃也满足《**省重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南(2024年修订版)》(豫环办[2024]72号)中**省通用涉 PM 企业绩效引领性指标以及**省通用涉VOCs 企业绩效引领性指标要求 | |
| 2 | 热氧化+旋风除尘+二级淋洗 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中的二级标准,《**省重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南(2024年修订版)》(豫环办[2024]72号)的“**省通用涉 PM 企业绩效引领性指标 PM 排放限值不高于 10mg/m3”以及“**省通用涉VOCs 企业绩效引领性指标 NMHC排放限值不高于30mg/m3”要求 | 依托现有“热氧化+旋风除尘+二级淋洗” | DA019排气筒出口非甲烷总烃最大排放浓度0.69mg/m3、排放速率0.001kg/h,满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级排放限值,非甲烷总烃排放浓度同时满足《**省重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南(2024年修订版)》(豫环办[2024]72号)的**省通用涉VOCs 企业绩效引领性指标;颗粒物最大排放浓度8.1mg/m3,满足从严执行DA020所属项目应执行的《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表4大气污染物特别排放限值 |
| 1 | 基础减振,厂房隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类排放限值 | 基础减振,厂房隔声 | 中硅高科东、西、南、北厂界昼间噪声测定值范围为51~55dB(A),夜间噪声测定值范围为41~43dB(A),均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类排放限值的要求 |
| 1 | 实验室内设置危废暂存区 | 依托现有危废暂存间 |
| 依托厂内已建成的110kV****电站,生产用水、消防用水依托厂内已建成的生产供水系统、消防水供水系统 | 验收阶段落实情况:依托厂内已建成的110kV****电站,生产用水、消防用水依托厂内已建成的生产供水系统、消防水供水系统 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |