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半导体静电卡盘用氮化铝粉体项目内资企业投资项目备案

审批

福建-厦门-翔安区

发布时间： 2026年06月16日

项目详情

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工程代码	****	中央代码	2606-350213-06-02-849196
项目名称	半导体静电卡盘用氮化铝粉体项目
项目（法人）单位	****	建设性质	改建
建设详细地址	市区内厝镇上塘北路666号
主要建设内容及规模	项目位于项目位于沈海高速与舫**路交叉西南侧地块，建筑面积5000.0平方米，用地面积5000.0平方米，拟建设年产300吨静电卡盘用高纯氮化铝粉体生产线，针对传统间歇式高温炉生产存在温度场不均、批次间差异大、生产效率低等固有缺陷，为满足粉体制备稳定性和一致性需求，本研究开发连续化生产系统。通过集成加热与冷却系统，物料传输系统，气路控制系统及自动化控制系统等单元模块，为粉体合成创造稳定、均匀且精确可控的反应环境。通过自动化系统精确调控前驱体配料、进料速率、反应温度曲线及气相流动状态，有效控制氮化铝晶核的生成与生长动力学。同时，依据杂质元素的饱和蒸汽压差异，系统内逐级设置升温梯度与气压条件，提纯氮化铝粉体。最终实现高纯度氮化铝稳定化、批量化与高质量制备，向下游为静电卡盘、陶瓷加热器及高导热基板等制造商提供稳定可靠的国产核心材料，打破该领域长期依赖进口的局面，形成从原材料到终端应用的完整产业链协同效应，切实保障国内半导体设备关键材料的供应链安全，同时项目的成功实施还将为国内氮化铝陶瓷材料行业树立量产高纯粉体的技术标杆，推动整个产业向高端化、规模化方向升级发展
项目总投资（万元）	3600（其中土建投资：，其他投资：800，设备及技术投资：2800，进口设备、技术用汇：）
拟开工时间	2026-06	拟建成时间	2029-05
符合产业政策的申明	我公司已确认，所备案项目不属于《产业结构调整指导目录》或《外商投资产业指导目录》中的限制类或禁止类项目，不属于我市核准目录中应办理核准的项目。特此声明。
补充说明
备案号	厦翔行审投备〔2026〕085号	备案日期	2026-06-16
备案机关	**管理局行政审批局、**服务中心管理委员会）	备案事项	内资企业投资项目备案

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

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