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年产1200吨半导体硅靶加工项目

审批

陕西-安康-汉阴县

发布时间： 2026年06月17日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0921MAB32E9P0A	颜瑞
王璟	******县
省市县镇月河村3组

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

年产1200吨半导体硅靶加工项目	****

2021版本:081-	C3985-C3985-电子专用材料制造
	****县 ****县
经度:108.530833 纬度: 32.865000	****环境局
	2025-04-16
安环函〔2025〕44号	****0921MAB32E9P0A001X
2025-08-02	50000
1306	****
****0921MAB32E9P0A	同泽生态**公司
916********303408A	****公司
****0103MA6TYBYU1W	2025-12-18
2025-12-20	2026-05-20
2026-05-06	2026-06-03
	https://www.****.com/home.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
未发生变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

半导体单晶硅靶：1200t/a	半导体单晶硅靶：600t/a
本次为阶段性验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目生产系统包括单晶硅靶材加工生产线、硅料喷砂清洗加工线及配套公辅设施，单晶硅靶材加工产生的埚底料、头尾料和边皮料经过硅料喷砂清洗加工线后作为原料回用于单晶硅靶加工生产线。（1）单晶硅靶材加工生产线本项目单晶硅靶材加工生产线设置1座单晶硅靶材加工车间和1座机加厂房，单晶硅靶材加工车间配置32台单晶炉及相应公辅设施。单晶炉属软抽直拉式单晶炉，在真空及惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将多晶硅材料加热并熔化，然后用直拉法生长无错位的单晶设备。设备由主机、加热电源、单晶炉控制系统三大部分组成（不包含磁场、热场），采用独特的中英日文切换和直观形象的界面控制，可实现从抽真空、检漏、压力控制、熔料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉全过程的自动控制。机加厂房配置截断机、开方机和磨倒机对单晶硅靶进行机械加工。 ①装料外购多晶硅料、石英坩埚、石墨件、液氩等原料进厂后运至各自原料贮存区分区贮存，原料仓库和液氩罐均为封闭设计。生产时从仓库取用一定量的多晶硅料和石英坩埚，在备料间将多晶硅料装入石英坩埚，装料过程对多晶硅料进行手工敲打破碎，此工序将产生少量装料、破碎粉尘及噪声。 ②装炉、加热、熔化将新石墨件或清理好的石墨件装入单晶炉内，石墨件为电阻加热器，备好的装有多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内，关闭炉体。采用真空泵（干式泵）将炉体抽真空，充入氩气作为保护气。然后打开石墨加热器电源，炉体通过电加热、升温至1450℃,将多晶硅原料熔化。 ③引晶、拉晶利用籽晶引晶，并逐渐放大到直径要求范围，等径拉制单晶。引晶、拉晶过程仍在单晶炉内进行，此时炉体为氩气保护的真空状态。炉体采用夹套循环水冷却保温。循环冷却水要求纯水，由动力站纯水制备机提供。单晶炉冷却系统包括单晶炉炉体冷却和单晶炉工艺冷却水冷却。单晶炉冷却产生的工艺冷却水经冷却塔冷却降温后收集至工艺冷却水池，再由冷却水泵输送到单晶炉冷却管路，单晶炉工艺冷却水循环使用，不外排。具体生长过程如下： 1）缩颈生长：当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力，会使籽晶产生位错，这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体。 2）放肩生长：长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 3）等径生长：长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整可使晶棒直径维持在正负2mm之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自等径部分。 4）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。单晶炉内硅料熔化、拉晶过程因真空泵持续抽真空，炉体持续充入氩气保持真空，炉内硅料熔化、拉晶过程会产生少量粉尘和氩气的混合气体。因此，单晶炉工作过程会产生硅料熔化、拉晶粉尘，设备噪声。单晶炉冷却系统会产生循环冷却水。 ④拆炉、清扫炉台当晶体拉制结束后，停炉、冷却并开始拆炉，取出单晶棒、石英坩埚及石墨件等。将炉膛、石墨件清理好备用。石英坩埚使用一次后即不能再使用，作为固体废物由生产厂家回收处理；石墨件使用50次左右即不能再使用作为固体废物统一收集后由厂家回收处理；清理出的埚底料为单晶硅在煅烧过程中残留于坩埚中的余料，其常常带有一定的石英等杂质，埚底料首先经人工去除大块石英，再使用纯水进行高温清洗，去除物料表面微小杂质和颗粒，烘干、冷却，检验合格后经机械加工成低端产品外售。该工序会产生炉膛清扫粉尘、废弃的石英坩埚、石英杂质、废弃的石墨件和设备噪声。 ⑤产品切割、倒磨采用截断机将单晶硅棒切掉头尾两端，中间部分按规定长度切断，并按照需求通过机械加工工艺将圆柱形硅棒进行切边、滚磨，形成准方形硅棒。加工机械包括截断机、开方机和磨倒机，设备均为湿法加工，采用自来水对设备刀头组件进行冷却降温，同时冲掉产生的硅屑和颗粒物。设备冷却水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。加工过程中产生的头尾料、边皮料等统一收集后运送至喷砂间，经喷砂技术去除物料表面氧化层、微小杂质和颗粒，再使用纯水进行高温清洗、烘干、冷却，检验合格后回用。单晶硅棒切割、倒磨工序会产生加工冷却废水、硅泥、石英杂质、废金刚线和设备噪声。 ⑥成品入库按照检测结果，将检验合格的成品方形硅棒装箱入库。（2）硅料喷砂清洗加工线本项目在机加厂房设置1条硅料喷砂清洗加工线，用于单晶硅头尾料、边皮料和坩埚底料表面处理及清洗。单晶硅头尾料、边皮料采用喷砂技术去除物料表面氧化层、微小杂质和颗粒，再使用纯水进行高温清洗、烘干、冷却，检验合格后回用；埚底料首先经人工去除大块石英，再进行高压水洗及高温超声清洗，去除物料表面微小杂质和颗粒，烘干、冷却，检验合格后经机械加工成低端产品外售。其工艺说明如下： ①喷砂：将分类出库的头尾料、边皮料人工转运至喷砂间，喷砂间配置1台吸入式干喷砂机。进料端采用人工将物料（头尾料、边皮料）分别拿到输送线，物料自动前往移动，以压缩空气为动力，通过气流的高速运动在喷枪内形成负压，将磨料（碳化硅粉末）通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴射出，喷射到需要加工的物料（头尾料、边皮料）上，喷枪为自动摇摆，可根据要求调节幅度，使物料（头尾料、边皮料）没有死角喷砂，表面喷砂均匀，而达到预期的加工目的。喷砂过程会产生喷砂粉尘和设备噪声。喷砂粉尘经密闭抽风管道收集后采用组合式滤筒除尘器处理后有组织排放。除尘风机启动会产生噪声。 ②高压冲洗：将喷砂完成的头尾料、边皮料和单晶炉拆炉清理出的埚底料人工转运至超声水洗间，超声水洗间配置1台超声清洗机。将要清洗的物料（头尾料、边皮料和埚底料）放入清洗机料篮，清洗机自动进料，首先采用自来水高压冲洗掉物料表面杂质。高压冲洗过程产生冲洗废水，冲洗废水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。 ③高温超声清洗：物料经高压冲洗后进入高温清洗槽，采用纯水进行超声深度清洗，清洗方式为溢流+鼓泡+快排+旋转+喷淋；同时采用不锈钢电加热器直接加热，清洗槽温度40~70℃可调。溢流水排放产生超声清洗废水，超声清洗废水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后作为机械加工冷却水和高压冲洗水循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。 ④烘干：物料经水洗完成后人工转运至烘干间，烘干间配置1台烘干机。烘干机采用洁净压缩空气，循环热风烘干处理；加热方式采用不锈钢电加热器，进风口加高效过滤器装置，烘干温度70~90℃可调。 ⑤冷却：烘干完成后屏蔽热风，物料自然冷却。 ⑥包装：烘干完成后物料在打包间进行分类、打包。 ⑦入库：打包完成的头尾料、边皮料和埚底料分类存放至原料库，头尾料、边皮料作为原料回用至单晶硅靶加工车间；埚底料根据订单需求经机械加工成低端产品外售。清洗机和烘干机运行过程分别产生设备噪声。（3）纯水制备工序本项目在动力站设置1间纯水制备间，配套1台纯水制备机，为单晶硅靶加工生产线和清洗加工线提供纯水。纯水制备采用活性炭+RO反渗透+EDI超纯水制备工艺。	本项目生产系统包括单晶硅靶材加工生产线、硅料喷砂清洗加工线及配套公辅设施，单晶硅靶材加工产生的埚底料、头尾料和边皮料经过硅料喷砂清洗加工线后作为原料回用于单晶硅靶加工生产线。（1）单晶硅靶材加工生产线本项目单晶硅靶材加工生产线设置1座单晶硅靶材加工车间和1座机加厂房，单晶硅靶材加工车间配置32台单晶炉及相应公辅设施。单晶炉属软抽直拉式单晶炉，在真空及惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将多晶硅材料加热并熔化，然后用直拉法生长无错位的单晶设备。设备由主机、加热电源、单晶炉控制系统三大部分组成（不包含磁场、热场），采用独特的中英日文切换和直观形象的界面控制，可实现从抽真空、检漏、压力控制、熔料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉全过程的自动控制。机加厂房配置截断机、开方机和磨倒机对单晶硅靶进行机械加工。 ①装料外购多晶硅料、石英坩埚、石墨件、液氩等原料进厂后运至各自原料贮存区分区贮存，原料仓库和液氩罐均为封闭设计。生产时从仓库取用一定量的多晶硅料和石英坩埚，在备料间将多晶硅料装入石英坩埚，装料过程对多晶硅料进行手工敲打破碎，此工序将产生少量装料、破碎粉尘及噪声。 ②装炉、加热、熔化将新石墨件或清理好的石墨件装入单晶炉内，石墨件为电阻加热器，备好的装有多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内，关闭炉体。采用真空泵（干式泵）将炉体抽真空，充入氩气作为保护气。然后打开石墨加热器电源，炉体通过电加热、升温至1450℃,将多晶硅原料熔化。 ③引晶、拉晶利用籽晶引晶，并逐渐放大到直径要求范围，等径拉制单晶。引晶、拉晶过程仍在单晶炉内进行，此时炉体为氩气保护的真空状态。炉体采用夹套循环水冷却保温。循环冷却水要求纯水，由动力站纯水制备机提供。单晶炉冷却系统包括单晶炉炉体冷却和单晶炉工艺冷却水冷却。单晶炉冷却产生的工艺冷却水经冷却塔冷却降温后收集至工艺冷却水池，再由冷却水泵输送到单晶炉冷却管路，单晶炉工艺冷却水循环使用，不外排。具体生长过程如下： 1）缩颈生长：当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力，会使籽晶产生位错，这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体。 2）放肩生长：长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 3）等径生长：长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整可使晶棒直径维持在正负2mm之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自等径部分。 4）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。单晶炉内硅料熔化、拉晶过程因真空泵持续抽真空，炉体持续充入氩气保持真空，炉内硅料熔化、拉晶过程会产生少量粉尘和氩气的混合气体。因此，单晶炉工作过程会产生硅料熔化、拉晶粉尘，设备噪声。单晶炉冷却系统会产生循环冷却水。 ④拆炉、清扫炉台当晶体拉制结束后，停炉、冷却并开始拆炉，取出单晶棒、石英坩埚及石墨件等。将炉膛、石墨件清理好备用。石英坩埚使用一次后即不能再使用，作为固体废物由生产厂家回收处理；石墨件使用50次左右即不能再使用作为固体废物统一收集后由厂家回收处理；清理出的埚底料为单晶硅在煅烧过程中残留于坩埚中的余料，其常常带有一定的石英等杂质，埚底料首先经人工去除大块石英，再使用纯水进行高温清洗，去除物料表面微小杂质和颗粒，烘干、冷却，检验合格后经机械加工成低端产品外售。该工序会产生炉膛清扫粉尘、废弃的石英坩埚、石英杂质、废弃的石墨件和设备噪声。 ⑤产品切割、倒磨采用截断机将单晶硅棒切掉头尾两端，中间部分按规定长度切断，并按照需求通过机械加工工艺将圆柱形硅棒进行切边、滚磨，形成准方形硅棒。加工机械包括截断机、开方机和磨倒机，设备均为湿法加工，采用自来水对设备刀头组件进行冷却降温，同时冲掉产生的硅屑和颗粒物。设备冷却水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。加工过程中产生的头尾料、边皮料等统一收集后运送至喷砂间，经喷砂技术去除物料表面氧化层、微小杂质和颗粒，再使用纯水进行高温清洗、烘干、冷却，检验合格后回用。单晶硅棒切割、倒磨工序会产生加工冷却废水、硅泥、石英杂质、废金刚线和设备噪声。 ⑥成品入库按照检测结果，将检验合格的成品方形硅棒装箱入库。（2）硅料喷砂清洗加工线本项目在机加厂房设置1条硅料喷砂清洗加工线，用于单晶硅头尾料、边皮料和坩埚底料表面处理及清洗。单晶硅头尾料、边皮料采用喷砂技术去除物料表面氧化层、微小杂质和颗粒，再使用纯水进行高温清洗、烘干、冷却，检验合格后回用；埚底料首先经人工去除大块石英，再进行高压水洗及高温超声清洗，去除物料表面微小杂质和颗粒，烘干、冷却，检验合格后经机械加工成低端产品外售。其工艺说明如下： ①喷砂：将分类出库的头尾料、边皮料人工转运至喷砂间，喷砂间配置1台吸入式干喷砂机。进料端采用人工将物料（头尾料、边皮料）分别拿到输送线，物料自动前往移动，以压缩空气为动力，通过气流的高速运动在喷枪内形成负压，将磨料（碳化硅粉末）通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴射出，喷射到需要加工的物料（头尾料、边皮料）上，喷枪为自动摇摆，可根据要求调节幅度，使物料（头尾料、边皮料）没有死角喷砂，表面喷砂均匀，而达到预期的加工目的。喷砂过程会产生喷砂粉尘和设备噪声。喷砂粉尘经密闭抽风管道收集后采用组合式滤筒除尘器处理后有组织排放。除尘风机启动会产生噪声。 ②高压冲洗：将喷砂完成的头尾料、边皮料和单晶炉拆炉清理出的埚底料人工转运至超声水洗间，超声水洗间配置1台超声清洗机。将要清洗的物料（头尾料、边皮料和埚底料）放入清洗机料篮，清洗机自动进料，首先采用自来水高压冲洗掉物料表面杂质。高压冲洗过程产生冲洗废水，冲洗废水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。 ③高温超声清洗：物料经高压冲洗后进入高温清洗槽，采用纯水进行超声深度清洗，清洗方式为溢流+鼓泡+快排+旋转+喷淋；同时采用不锈钢电加热器直接加热，清洗槽温度40~70℃可调。溢流水排放产生超声清洗废水，超声清洗废水经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后作为机械加工冷却水和高压冲洗水循环使用。压滤出的硅泥定期清掏，交由回收厂家。 ④烘干：物料经水洗完成后人工转运至烘干间，烘干间配置1台烘干机。烘干机采用洁净压缩空气，循环热风烘干处理；加热方式采用不锈钢电加热器，进风口加高效过滤器装置，烘干温度70~90℃可调。 ⑤冷却：烘干完成后屏蔽热风，物料自然冷却。 ⑥包装：烘干完成后物料在打包间进行分类、打包。 ⑦入库：打包完成的头尾料、边皮料和埚底料分类存放至原料库，头尾料、边皮料作为原料回用至单晶硅靶加工车间；埚底料根据订单需求经机械加工成低端产品外售。清洗机和烘干机运行过程分别产生设备噪声。（3）纯水制备工序本项目在动力站设置1间纯水制备间，配套1台纯水制备机，为单晶硅靶加工生产线和清洗加工线提供纯水。纯水制备采用活性炭+RO反渗透+EDI超纯水制备工艺。
未发生变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）废气人工破碎粉尘：通风橱收集经1#滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。拉晶熔化粉尘：经密闭管道真空抽吸后经单晶炉自带的除尘滤罐处理后与真空泵产生的油烟热气一起再经烟气处理器（静电吸附+活性炭吸附）处理后有组织排放，对应排气筒编号为DA002，高度26m。真空泵（油泵）废气：主要为抽真空时产生炉内空气（含氩气）和真空泵（油泵）油烟热气，每台真空泵（油泵）配套专用废气回收管道，收集的废气统一进入1台油烟净化设备（静电吸附+活性炭吸附）处理后有组织排放，对应排气筒编号为DA002，高度26m。拆炉清扫粉尘：每台设备配套一个吸尘探刷，每3台设备吸尘探刷连接1个废气收集支管，粉尘经负压收集后经2#滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。喷砂废气：采用密闭管道收集经3#组合式滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。（2）废水生活污水：租赁的厂区已建成化粪池2座，员工生活污水依托厂区现有化粪池收集**处理站集中处理，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理。单晶炉冷却废水：半导体单晶炉冷却水为间接冷却水，设置冷却水收集池1座，冷却水循环利用，不外排。硅棒磨抛废水：经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，排放污水待污水管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前不得排放生产废水。硅料清洗废水：经车间导流管道排入压滤池，采用压滤机压滤后作为机械加工冷却水循环使用，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，排放污水待污水管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前不得排放生产废水。纯水机制备浓水：待污水管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前不得排放生产废水。（3）噪声优先选用低噪声型设备、采取减振、吸声、厂房隔声等措施。（4）固废生活垃圾分类收集后委托环卫部门每日清运、统一处置，对周围环境影响小。危废贮存库1座，建筑面积约20m2，用于暂存厂区产生的危险废物。本项目产生的油泥、废活性炭、废机油等暂存于危险废物贮存库，定期交由有资质的单位处置。 **一般工业固废库1座，建筑面积约40m2，用于暂存厂区产生的一般工业固体废物；本项目产生的废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废RO膜、纯水制备机产生的废活性炭等暂存于一般固废暂存区，定期外售。	（1）废气人工破碎粉尘：通风橱收集经1#滤筒除尘器处理后有组织排放，因项目人工破碎工序作业量减少、粉尘产生量显著降低，原设计DA001排气筒配套风机风量与该工序产排工况不匹配，无法保障废气收集与处理效果，故将人工破碎粉尘废气排放排气筒由原环评设计的DA001调整为DA002，高度26m。拉晶熔化粉尘：经密闭管道真空抽吸后，先通过单晶炉配套除尘滤罐进行预处理，再进入布袋除尘器深度处理，最终由DA002排气筒有组织排放，排气筒高度26m。本项目将原油泵式真空泵改为干式真空泵，运行过程不再产生油烟热气，故取消原烟气处理装置（静电吸附+活性炭吸附），相应废气处理工艺优化为布袋除尘处理。真空泵（油泵）废气：本项目真空泵（油泵）变更为干式真空泵，不产生真空泵（油泵）废气，因此未设置烟气处理器（静电吸附+活性炭吸附）。拆炉清扫粉尘：每台设备配套一个吸尘探刷，每3台设备吸尘探刷连接1个废气收集支管，粉尘经负压收集后经2#滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。喷砂废气：采用密闭管道收集经3#组合式滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。（2）废水生活污水：租赁的厂区已建成化粪池2座，员工生活污水依托厂区现有化粪池收集**处理站集中处理，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理。单晶炉冷却废水：半导体单晶炉冷却水为间接冷却水，设置冷却水收集池1座，冷却水循环利用，不外排。硅棒磨抛废水：经车间导流管道排入压滤水池，采用压滤机压滤后循环使用，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前，不排放生产废水。硅料清洗废水：经车间导流管道排入压滤池，采用压滤机压滤后作为机械加工冷却水循环使用，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前，不排放生产废水。纯水机制备浓水：待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前，不排放生产废水。（3）噪声优先选用低噪声型设备、采取减振、吸声、厂房隔声等措施。（4）固废生活垃圾分类收集后委托环卫部门每日清运、统一处置，对周围环境影响小。在厂区东南角设置1座成品危险废物贮存库，建筑面积约4m2，用于暂存厂区产生的危险废物。本项目产生的废机油暂存于危险废物贮存库，定期交由飞博****公司处置；本项目将原油泵式真空泵优化为干式真空泵，运行过程不产生油烟热气，无需配套建设原设计的静电吸附+活性炭吸附烟气处理设施，故不产生油泥、废活性炭等危险废物，废机油产生量显著减少。在厂房内划定专属一般工业固体废物暂存区，区域面积约20m2，用于暂存厂区产生的一般工业固体废物；本项目产生的废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废RO膜、纯水制备机产生的废活性炭等暂存于一般固废暂存区，定期外售。
（1）本次验收将人工破碎粉尘处理设施对应的排气筒编号，由原环评设计的DA001调整为DA002，排气筒高度、废气处理工艺均与原环评设计完全一致，无其他变动，不影响本次验收范围界定；（2）本次验收将原环评设计的油泵式真空泵优化为干式真空泵，设备运行过程不再产生油烟热气及真空泵（油泵）废气，因此取消原环评设计的烟气处理器（静电吸附+活性炭吸附），无相关废气产生及排放；同步将拉晶熔化粉尘废气处理工艺优化为“单晶炉配套除尘滤罐预处理+布袋除尘器深度处理”，该工艺为《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019）推荐的可行技术；上述调整仅优化废气治理工艺，废气排放对应的排气筒编号、高度均与原环评设计完全一致，无其他变动；（3）本次为阶段性验收，当前实际生产产能仅为环评批复设计产能的50%，一般工业固体废物产生量同步减少，因此未建设原环评设计的独立一般工业固废库，仅在厂房内划定专属一般工业固体废物暂存区（面积约20m2），可完全满足项目现阶段一般工业固体废物的规范暂存周期要求；独立一般工业固废库本次未建设、不纳入本次验收范围，后续根据产能提升情况适时建设，建成后另行履行环保验收手续；（4）本次验收将原环评设计的油泵式真空泵优化为干式真空泵，无需配套建设原设计的静电吸附+活性炭吸附烟气处理设施，不产生油泥、油烟处理环节废活性炭等危险废物，废机油仅来源于设备日常保养，产生量显著减少；同步将原环评设计的20m2自建危险废物贮存库，调整为4m2成品危险废物贮存库（位于厂区东南角），成品危废库已按规范完成重点防渗措施建设，可完全满足项目现阶段危险废物的规范暂存周期要求及环境风险防控要求；产生的废机油仍按规范集中收集暂存，定期交有资质的飞博**公司处置，处置路径符合危险废物环境管理要求。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）落实施工期污染防治措施。建筑施工扬尘应落实工地周边围挡、物料堆放覆盖、土方开挖湿法作业、路面硬化、出入车辆清洗、渣土车辆密闭运输“6个100%”要求。合理安排施工时间，选用低噪声设备，禁止夜间施工，确需夜间施工的须经有关主管部门许可。施工废水经临时沉淀池处理后用于厂区洒水抑尘，生活污水依托厂区现有化粪池处理后经污水管**处理站，严禁外排。（2）严格落实废气污染防治措施。项目废气主要包括单晶炉装料破碎废气，拆炉清扫废气，喷砂废气，熔化、拉晶废气，真空泵烟气。装料破碎废气经集气罩负压收集后进入1#滤筒除尘器处理，拆炉清扫废气经高负压抽吸后进入2#滤筒除尘器处理，喷砂废气经密闭管道收集后进入3#组合式滤筒除尘器，经1#、2#、3#滤筒除尘器处理后的尾气由引风机抽至26m高排气筒(DA001)排放;单晶炉熔化、拉晶废气和真空泵烟气经处理后由引风机抽至26m高排气筒(DA002)排放。废气排气筒排放浓度均执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)》相关标准限值。（3）加强废水污染防治措施。硅棒磨抛废水、硅料清洗废水经各车间导流管道排入压滤水池后全部循环使用于机加工冷却，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，排放污水应待污水管网建设完成后排入处理站集中处理，污水管网接通前不得排放生产废水;采用活性炭+反渗透+EDI超纯水制备工艺纯水机制备浓水待污水管网建成后进入处理站集中处理，污水管网接通前不得排放生产废水;半导体单晶炉冷却废水和冷却塔循环系统冷却水排入足够容积的冷却水收集池循环利用，不外排;生活污水经化粪池预处理处理站集中处理，待污水管网建成后进入处理站集中处理。（4）规范固体废物分类收集与处置工作。按照“减量化、化、无害化”原则，对固体废物进行分类收集、处理和处置。废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废活性炭(纯水制备机产生)、废RO膜等一般工业固体废物全部暂存于一般工业固废库，定期交由专业厂家回收;油泥、废机油、废活性炭(油烟处理设备产生)等危险废物应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)分类暂存于危险废物贮存库，定期交有资质单位处置;生活垃圾交由环卫部门处理。（5）有效防范地下水和环境风险措施。地下水污染防治按照“源头控制、末端防治、污染监控、应急响应”相结合的原则全阶段控制，严格实行分区防渗措施，厂区划分为重点防渗区(危废贮存库、压滤池、机油储存区)，一般防渗区(其他生产车间区域、一般固体废物贮存库)和简单防渗区，设置足够容积的应急事故池，建立健全环境管理制度，制定并落实完善可靠的应急预案和应急防范措施，配备足够的应急物品并定期演练。同时，建立跟踪监测制度，根据《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031-2019)、《排污单位自行监测技术指南总则》(HJ819-2017)及《排污许可申请与核发技术规范工业噪声》(HJ1301-2023)》定期开展污染源监测工作。（6严格落实噪声防治措施。选用低噪声生产设备和工艺，产噪设备合理布局，高噪声源风机等布置远离敏感点，做好基础减振工作，加强机械设备维护保养。厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)限值要求。）	（1）已落实施工期污染防治措施。建筑施工扬尘已落实工地周边围挡、物料堆放覆盖、土方开挖湿法作业、路面硬化、出入车辆清洗、渣土车辆密闭运输“6个100%”要求。已合理安排施工时间，选用低噪声设备，禁止夜间施工，确需夜间施工的须经有关主管部门许可。施工废水经临时沉淀池处理后用于厂区洒水抑尘，生活污水依托厂区现有化粪池处理后经污水管**处理站，严禁外排。（2）已严格落实废气污染防治措施。项目废气主要包括单晶炉装料破碎废气，拆炉清扫废气，喷砂废气，熔化、拉晶废气。装料破碎废气经集气罩负压收集后进入1#滤筒除尘器处理，根据产排工况，因项目人工破碎工序作业量减少、粉尘产生量显著降低，原设计DA001排气筒配套风机风量与该工序产排工况不匹配，无法保障废气收集与处理效果，故将人工破碎粉尘废气排放排气筒由原环评设计的DA001调整为DA002；拆炉清扫废气经高负压抽吸后进入2#滤筒除尘器处理，喷砂废气经密闭管道收集后进入3#组合式滤筒除尘器，经2#、3#滤筒除尘器处理后的尾气由引风机抽至26m高排气筒(DA001)排放;单晶炉熔化、拉晶废气经密闭管道真空抽吸后，废气先经单晶炉配套除尘滤罐预处理，再进入布袋除尘器深度处理，最终通过DA002排气筒有组织排放，排气筒高度26m；本项目真空泵（油泵）变更为干式真空泵，不产生油烟热气，因此未设置烟气处理器（静电吸附+活性炭吸附），结合项目实际废气产生特性，配套建设1套布袋除尘器（《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019）推荐的相关污染物治理可行技术）。废气排气筒排放浓度均执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)》相关标准限值；由于真空泵（油泵）变更为干式真空泵，故不产生真空泵（油泵）废气。（3）已加强废水污染防治措施。硅棒磨抛废水、硅料清洗废水经各车间导流管道排入压滤水池后全部循环使用于机加工冷却，当循环水无法满足工艺使用要求时需补充新鲜水，并排放部分污水，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前，不排放生产废水；采用活性炭+反渗透+EDI超纯水制备工艺园区管网建设完成后进入处理站集中处理，待园区管网建设完成后进入处理站集中处理，污水管网接通前，不排放生产废水；半导体单晶炉冷却废水和冷却塔循环系统冷却水排入足够容积的冷却水收集池循环利用，不外排;生活污水经化粪池预处理处理站集中处理，待污水管网建成后进入处理站集中处理。（4）已规范固体废物分类收集与处置工作。按照“减量化、化、无害化”原则，对固体废物进行分类收集、处理和处置。废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废活性炭(纯水制备机产生)、废RO膜等一般工业固体废物全部暂存于一般工业固废暂存区，定期交由专业厂家回收; 废机油等危险废物应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)分类暂存于危险废物贮存库，定期交飞博**公司;生活垃圾交由环卫部门处理；由于真空泵（油泵）变更为干式真空泵，不产生油泥、废活性炭等危险废物，废机油产生量大幅减少。（5）有效防范地下水和环境风险措施。地下水污染防治已按照“源头控制、末端防治、污染监控、应急响应”相结合的原则全阶段控制，严格实行分区防渗措施，厂区划分为重点防渗区(危废贮存库、压滤池、机油储存区)，一般防渗区(其他生产车间区域、一般固体废物贮存库)和简单防渗区，应急事故池依托本项目压滤池，容积足够，建立健全环境管理制度，制定并落实完善可靠的应急预案和应急防范措施，配备足够的应急物品并定期演练。已建立跟踪监测制度，根据《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031-2019)、《排污单位自行监测技术指南总则》(HJ819-2017)及《排污许可申请与核发技术规范工业噪声》(HJ1301-2023)》定期开展污染源监测工作。（6）已严格落实噪声防治措施。选用低噪声生产设备和工艺，产噪设备合理布局，高噪声源风机等布置远离敏感点，做好基础减振工作，加强机械设备维护保养。厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)限值要求。
（1）本次验收将人工破碎粉尘处理设施对应的排气筒编号，由原环评设计的DA001调整为DA002，排气筒高度、废气处理工艺均与原环评设计完全一致，无其他变动，不影响本次验收范围界定；（2）本次验收将原环评设计的油泵式真空泵优化为干式真空泵，设备运行过程不再产生油烟热气及真空泵（油泵）废气，因此取消原环评设计的烟气处理器（静电吸附+活性炭吸附），无相关废气产生及排放；同步将拉晶熔化粉尘废气处理工艺优化为“单晶炉配套除尘滤罐预处理+布袋除尘器深度处理”，该工艺为《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019）推荐的可行技术；上述调整仅优化废气治理工艺，废气排放对应的排气筒编号、高度均与原环评设计完全一致，无其他变动；（3）本次为阶段性验收，当前实际生产产能仅为环评批复设计产能的50%，一般工业固体废物产生量同步减少，因此未建设原环评设计的独立一般工业固废库，仅在厂房内划定专属一般工业固体废物暂存区（面积约20m2），可完全满足项目现阶段一般工业固体废物的规范暂存周期要求；独立一般工业固废库本次未建设、不纳入本次验收范围，后续根据产能提升情况适时建设，建成后另行履行环保验收手续；（4）本次验收将原环评设计的油泵式真空泵优化为干式真空泵，无需配套建设原设计的静电吸附+活性炭吸附烟气处理设施，不产生油泥、油烟处理环节废活性炭等危险废物，废机油仅来源于设备日常保养，产生量显著减少；同步将原环评设计的20m2自建危险废物贮存库，调整为4m2成品危险废物贮存库（位于厂区东南角），成品危废库已按规范完成重点防渗措施建设，可完全满足项目现阶段危险废物的规范暂存周期要求及环境风险防控要求；产生的废机油仍按规范集中收集暂存，定期交有资质的飞博**公司处置，处置路径符合危险废物环境管理要求；（5）本次验收未建设原环评设计的独立事故应急池，依托总有效容积36m3的压滤水池（分区设置3个5m3废水罐生产回用库容、21m3专用事故应急库容）作为事故应急收集设施，其库容、防渗及配套设施可满足事故废水、初期雨水收集要求，符合相关规范。原设计独立事故应急池不纳入本次验收范围，本次调整不属于环评重大变动，项目后续全运营周期内不再建设该设施。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.2429	0.243	0.243
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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

压滤水池

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准

压滤水池（总容积36m3：设置3个5m3废水罐用于生产回用库容）

本项目污水总排口DW001氨氮浓度为5.53mg/L（取监测报告最大值），总氮浓度为13.5mg/L（取监测报告最大值），总磷浓度为2.88mg/L（取监测报告最大值）符合《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准限值要求；本项目污水总排口DW001五日生化需氧量浓度为4.8mg/L（取监测报告最大值），悬浮物浓度为46mg/L（取监测报告最大值），化学需氧量浓度为12mg/L（取监测报告最大值），pH值为7.9（取监测报告最大值）符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准限值要求。达标排放。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	1#滤筒除尘器	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物二级排放限值	经通风橱收集后，通过1#滤筒除尘器处理实现有组织排放；结合实际产排工况，因项目人工破碎工序作业量减少、粉尘产生量显著降低，原设计DA001排气筒配套风机风量与该工序产排工况不匹配，无法保障废气收集与处理效果，故将人工破碎粉尘废气排放排气筒由原环评设计的DA001调整为DA002。	排气筒DA002颗粒物最大排放浓度1.5mg/m3；DA002排气筒颗粒物监测浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准限值要求，达标排放。
2	单晶炉配套除尘滤罐+布袋除尘器	颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物二级排放限值	经密闭管道真空抽吸后，先通过单晶炉配套除尘滤罐进行预处理，再进入布袋除尘器深度处理，最终由DA002排气筒有组织排放，该排气筒高度为26m。	排气筒DA002颗粒物最大排放浓度1.5mg/m3；DA002排气筒颗粒物监测浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准限值要求，达标排放。
3	2#滤筒除尘器	颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物二级排放限值	每台设备配套1个吸尘探刷，每3台设备的吸尘探刷连接1个废气收集支管，粉尘经负压收集后，通过2#滤筒除尘器处理实现有组织排放，排气筒编号为DA001，高度为26m。	排气筒DA001颗粒物最大排放浓度为1.5mg/m3；DA001排气筒颗粒物监测浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准限值要求，达标排放。
4	3#组合式滤筒除尘器	颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物二级排放限值	采用密闭管道收集经3#组合式滤筒除尘器处理后有组织排放，排气筒编号为DA001，高度26m。	排气筒DA001颗粒物最大排放浓度为1.5mg/m3；DA001排气筒颗粒物监测浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准限值要求，达标排放。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

基础减振、隔音罩

厂界东、西、北厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准，南厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准

本项目运营期噪声主要来源于单晶炉真空泵、纯水制备机、冷却泵、引风机、截断机、开方机、超声清洗机等。项目产噪设备较多，主要防治措施如下：（1）从噪声源入手，在满足工艺要求的前提下，选择低噪声的设备，主要生产设备均布置在室内，对噪声较大的设备基础进行减振防噪处理；（2）在设备、管道设计中，注意防震、防冲击，以减轻振动噪声，并注意改善气体输流时流畅状况，以减轻空气动力噪声；（3）对风机等设置减振基础外，再设置隔音罩进一步降低噪声；（4）加强噪声设备的维护管理，避免因不正常运行所导致的噪声增大。

根据监测结果可知，本项目所监测西北居民点声环境昼间、夜间噪声均符合《声环境质量标准》（GB3096-2008）2类标准限值要求；厂界东侧、北侧、西侧昼间、夜间噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类限值要求，厂界南侧昼间、夜间噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中4类限值要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

采取分区防控措施，危废贮存库、压滤池、压滤机房和机油储存区采取重点防渗措施，其他生产车间区域和一般固体废物贮存库采取一般防渗措施，办公区和厂区道路全部硬化。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾分类收集后委托环卫部门每日清运、统一处置，对周围环境影响小。 **危废贮存库1座，建筑面积约20m2，用于暂存厂区产生的危险废物。本项目产生的油泥、废活性炭、废机油等暂存于危险废物贮存库，定期交由有资质的单位处置。 **一般工业固废库1座，建筑面积约40m2，用于暂存厂区产生的一般工业固体废物；本项目产生的废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废RO膜、纯水制备机产生的废活性炭等暂存于一般固废暂存区，定期外售。

生活垃圾分类收集后委托环卫部门每日清运、统一处置，对周围环境影响小。在厂区东南角设置1座成品危险废物贮存库，建筑面积约4m2，用于暂存厂区产生的危险废物。本项目产生的废机油暂存于危险废物贮存库，定期交由**飞博****公司处置；本项目将原油泵式真空泵优化为干式真空泵，运行过程不产生油烟热气，无需配套建设原设计的静电吸附+活性炭吸附烟气处理设施，故不产生油泥、废活性炭等危险废物，废机油产生量显著减少。在厂房内划定专属一般工业固体废物暂存区，区域面积约20m2，用于暂存厂区产生的一般工业固体废物；本项目产生的废坩埚、废石墨件、滤筒收集粉尘、石英杂质、硅泥、废金刚线、废滤材、废RO膜、纯水制备机产生的废活性炭等暂存于一般固废暂存区，定期外售。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

设置1座事故应急池收集事故泄露时消防废水和初期雨水。

项目未**专用事故应急池，依托本项目已建成的压滤水池作为事故废水暂存设施；该压滤水池有效容积36m3：设置3个5m3废水罐用于生产回用库容、21m3罐外容积专用事故应急库容，池体已做强化防渗处理，同步配套完善了事故废水重力自流导流管路、紧急切换阀门、厂区雨水/污水总排口截污设施；未导致环境风险防范能力弱化或降低。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程