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6英寸激光平面干涉仪（清采比选20260771号）采购公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
| 6英寸激光平面干涉仪 | 项目编号**** | |
| 2026-06-18 08:55:47 | 公告截止日期2026-06-21 09:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后50%，到货验收合格后50% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后40个自然日内 | |
| ￥ 435000.00 | ||
| **市**区**** | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单
| 6英寸激光平面干涉仪 | 1 | 台 |
| INF150QPS-LS |
| ￥ 435000.00 |
| 激光干涉仪主机 1）测试结构：菲索干涉卧式结构；2）相移方式：机械相移； 3）光源波长：λ=633nm；4）有效测试口径：≥Φ150mm； 5）相机分辨率：≥1.2K×1.2K；6）变焦：1X-5X光学变焦； 7）调焦范围：≥±2.0m；8）平面透射标准镜（TF）：有效口径≥Φ150mm，标准面精度PV≤λ/20； 9）系统精度：PV≤λ/15；10）系统重复性精度：RMS≤λ/2000； 11）五维调整架：三维平移，两维角度，五维调节，三爪卡盘，最大夹持口径Φ150mm 导轨及光栅尺 1）导轨长度：2m，包含安装底座；2）光栅尺：1um，数字显示。 基座隔振平台 1）平台尺寸：3000mm*1200mm；2）台面采用高导磁性不锈钢，抛亚光密迪纹理处理； 3）M6螺孔，孔距（25*25）mm；4）平面度：±0.1mm/m2； 5）表面粗糙度：≤1.6μm；6）采用（四）支撑基础； 7）固有频率：垂直1.0-2.0Hz，水平1.0-2.0Hz；8）平台调平方式：自动； 9）隔振方式：空气弹簧；10）调节高度：±10mm。 |
| 12个月 |
招标进度跟踪
2026-06-21
2026-06-18
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6英寸激光平面干涉仪（清采比选20260771号）采购公告
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