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离子源系统
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***********公司企业信息
| 采购信息 | |
| 采购单位名称 | **** |
| 采购项目名称 | 离子源系统 |
| 成交供应商 | **** |
| 成 交 价（元） | 120000 |
| 采购清单 | ||||||
| 序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单价（元） | 数量 | 技术参数 | |
| 1 | 离子源系统 | 120000 | 1 | 1.考夫曼离子源： 安装法兰RF150 离子源口径：φ30mm 2 离子束能量： 100~300eV连续可调 离子速流： 5~30mA连续可调 工作真空范围： 6X10-2 ~0.1Pa 2.质量流量显示仪（单路）：0-50sccm 3.质量流量控制器：0-50sccm 4.离子源电源X1 5.离子源过渡腔：CF100-RF150 6.CF100三通X1 7.手套箱连接管CF100X330 8.进样室衬板 | ||
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2026-06-18
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