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自动晶圆清洗机
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***********公司企业信息
自动晶圆清洗机(****)自购结果公示
发布时间：2026-06-22
该项目经自行采购程序，允许自购：
| **** |
| 130000 |
| 2026-06-22 | 公示截止日期2026-06-23 10:54:02 | |
| **** | 付款方式发货前预付100% | |
| 到货时间要求 | ||
| **大学软件园校区 | ||
采购清单1
| 自动晶圆清洗机 | 1 | 台 |
| 雷博 | 规格型号AC200-COT-CTM-SD | |
| 1.最大转速:10000rpm(空载);最大加速度:50000rpm/s(空载);转速精度:±1rpm;转速分辨率:0.1rpm;单步最大 3000.0，时间分辨率:0.1 2.真空数显表，真空压力可调，真空吸附载物盘;特殊设计结构防止设备运行中进液。 3.自动摆臂，喷嘴工装高度可手动调节，自动升降，自动摆动，摆动范围可实现腔体全覆盖，摆臂摆动速度:0-30/s，可调节 4.1 个自动清洗摆臂（固定 1 路清洗液，1 路纯水，1 路氮气）； 喷嘴到基片的高度可在 10-50mm 范围内可调；压力罐供液方式稳定。 5.配 4 寸、6 寸 PPS 材质载物盘，无油真空泵。 6. 可储存 100 组 100 步程序。 | ||
| 服务网点:外地;质保期限:1年;无; | ||
****管理部
2026-06-22
招标进度跟踪
2026-06-22
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