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8吋多晶刻蚀设备采购项目评标结果公示公告(1)

结果-候选人公示

陕西 -西安

发布时间： 2026年06月22日

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设备采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目编号： ****

公告类型：评标公示

截止时间： 2026-06-25 23:59:00

招标机构： ****

招标地区： **省

项目名称：8吋多晶刻蚀设备采购项目
招标项目编号：****
招标范围：采购全新8吋多晶刻蚀设备1套，用于8吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生**度等离子体，以达到去除特定区域硅衬，主要用于多晶硅硅栅（poly gate）、多晶硅回刻（poly etch back）、浅沟槽隔离（STI）和硅的金属钨化物（WSix）刻蚀工艺）。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2026-06-17 09:30
公示开始时间：2026-06-22 11:57
评标公示截止时间：2026-06-25 23:59
中标候选人名单：候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区

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