浙大宁波理工学院2026年6月长晶炉、原子层沉积机政府采购意向

标的名称：液相法（电阻）长晶炉
数量/单位：1套
预算金额（元）：****000.00

采购目录：A****0904增材制造设备

需实现的主要功能或者目标：采用电阻加热方式，在氩气等工艺气体的气氛中，利用液相法制备6英寸以上碳化硅、硅、锗等高质量晶体。针对高质量晶体生长，设备设计了超慢速籽晶杆升降功能以实现晶体近匀速生长，并配备液面熔接检测、视觉检测以及全自动长晶的智能化控制系统。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 一、质量要求：整机全系统保固一年 。在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修及终身维修，均只核收工本费；二、服务要求：①设备自验收合格之日起免费维保一年;②设备在保修期内如有重要零件非人为的损坏，应对零件免费更换；③服务响应时间:2小时电话响应，24小时到现场； 三、安全要求：总重小于4吨。需提供 3相5线、AC380V、50Hz 的稳定工业电源，且设备必须可靠接地。供水必须提供水质为纯水的冷却水，流量 >250 L/min，进水压力维持在0.2～0.35 MPa，进水温度 ≈25±2 ℃；供气需预设压缩空气（0.4～0.7 MPa）、氩气（0.4～0.6 MPa）、氦气（0.4～0.6 MPa）、氮气（0.4～0.6 MPa）管路； 四、时限要求：2026年11月设备到货。

标的名称：原子层沉积机
数量/单位：1套
预算金额（元）：700000.00

采购目录：A****0699其他试验仪器及装置

需实现的主要功能或者目标：实现（包括高深宽比）薄膜均匀镀膜

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 一、质量要求：片内厚度偏差（非均匀性）≤±1%，高深宽比结构侧壁/底部膜厚一致性≥95%，极限真空度≤50mTorr，驱动阀门响应时间≤20ms，腔体控温精度高于±1℃，泄露率≤1×10 Pa﹒m3/s，集成手套箱；二、服务要求：①设备自验收合格之日起免费维保一年;②设备在保修期内如有重要零件非人为的损坏，应对零件免费更换；③服务响应时间:2小时电话响应，24小时到现场； 三、安全要求：用电要求220V AC/50Hz, 额定功率2KW,9A,峰值功率3KW,13A； 四、时限要求：2026年9月设备到货。