西南交通大学多场辅助原子级化学机械抛光机等设备采购

A****9900其他机械设备

采购项目名称：****多场辅助原子级化学机械抛光机等设备采购。主要采购内容：一、多场辅助原子级化学机械抛光机，数量：1台。 性能指标：(1) 抛光头模块：气膜加压，5个分区独立控制；(2) 摩擦力模块：利用电机电流表征摩擦力，采样频率6Hz；(3) 样品加工能力：2~6英寸；(4) 工艺实现方式：触屏程序控制；(5) 抛光头：标配2、4英寸；(6) 抛光头下压力：0~4psi（4英寸）；(7) 抛光头转速：0~200rpm；(8) 抛光盘转速：0~200rpm；(9) 多场辅助：电场电压范围1~10V，紫外光波长<400nm，功率0~1W；(10) 抛光精度：单晶硅抛光后，采用原子力显微镜测量表面粗糙度PV值，单晶硅表面起伏小于10个原子层。 二、原子级平面加工辅助测量模块，数量：1台。 性能指标：(1) 膜厚仪测量模块：膜厚测量范围1nm~50nm，测量分辨率0.1nm，测量准确性2nm或者0.5%；(2) 总厚度偏差（TTV）测量模块：测量范围100nm~1000μm，测量分辨率0.1μm，测量准确性0.5μm或0.5%；(3) 样品自动传输模块：自动抓取与放置，自动定位，重复定位精度±0.3mm。 三、轴承/齿轮原子级抛光机，数量：1台。 性能指标：(1) 大齿顶直径：560mm；(2) 最小齿根直径：300mm；(3) 模数：2mm~10mm；(4) 螺旋角：±45°；(5) X轴定位加载电动驱动，最大有效行程：800mm，重复定位精度≤±0.05mm，最高移动速度：100mm/s；(6) Y轴定位加载电动驱动，最大有效行程：700mm，重复定位精度≤±0.05mm，最高移动速度：100mm/s；(7) Z轴定位加载电动驱动，最大有效：600mm，重复定位精度≤±0.05mm，最高移动速度：100mm/s；(8) C轴采用双蜗杆消隙机构,保证准确分度精确要求，C轴最高转速50rpm，重复定位精度10角秒，最大负载500N；(9) A轴选用高精度复合轴承，满足工具架螺旋角准确定位和高刚性要求，A轴最高转速10rpm，重复定位精度10角秒，最大负载2000N。 四、原子级曲面加工辅助装载及清洗模块，数量：1台。性能指标：(1) 样品自动装载模块：不低于直径100mm样品的自动装载，并保证对中性；(2) 清洗烘干模块：兆声清洗，兆声频率不低于1MHz，氮气吹干；(3) 光谱仪模块：分辨率1nm，光谱分析范围220~1050nm。