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准分子激光器
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准分子激光器 公开询比采购
需求量:1.0台 规格描述:型号/件号:参考型号：MLI-KrFFBG；"气体类型：KrF 气体腔体密封方式：全金属密封 气体腔体寿命：＞20亿次脉冲 激光波长：248nm 高压触发：固态开关 最大重复频率：500Hz 标准脉冲能量（mJ）：（5-10） 最高脉冲能量（mJ）：≥12 脉冲能量稳定性（sigma，%）：＜2 脉冲宽度（FWHM，ns）：5-15 光束尺寸（FWHM，VxH mm）：6x3 光束发散角（FWHM，VxH mrad）：2x1（典型值） 空间相干长度（mm’）：0.5~1.5 散热方式：风冷式 重量：≤75kg 用电：230V，50/60Hz，≤2.3kVA 设备尺寸：≤600x360x450〖mm〗^3 交付周期：签订合同后一周内"；验收标准："1 光纤光栅样件制作 激光器在稳定运行状态，基于我部门现有成熟光路系统，制作光纤光栅样件验证激光加工有效性。光纤光栅参数为长度5mm，反射率＞90%，边模抑制比≥18dB，单支FBG曝光时间＜3分钟。 合格条件为，可连续制作满足技术标准要求的光纤光栅样件＞100支，良品率≥95%。 2 气体衰减周期验证 激光器气体腔体更换一次新气体后，在
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询价中 需求发布时间2026-06-22 17:29
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