多功能电子束蒸发系统（拔尖人才培养创新实践平台）

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采购标的名称为多功能电子束蒸发系统，该设备由蒸发源模块和真空控制模块组成。蒸发源模块以电子束蒸发与热阻蒸发为核心，并扩展兼容溅射功能，从而提供从蒸发到溅射的多种物理气相沉积路径，为实现成分与结构精确可控的多样化薄膜制备奠定了工艺基础。系统通过在超高真空环境下，使靶材材料受热蒸发（或经离子轰击溅射）并在样品表面凝结、生长，再经可选的高温热处理后，能够在各类基底上形成附着力强、结构致密的优质膜层。该系统尤其擅长金属、合金、难熔金属、陶瓷、半导体及介质等多种材料的蒸发镀膜，同时扩展的溅射能力进一步满足了对合金组分、化合物薄膜等材料的精密制备需求，全面适应科研与教学中的多样化探索。主要功能指标有：兼容电子束蒸发和溅射，用于金属、无机化合物和有机材料等不同材料的镀膜。 采购标的数量为1台，需满足的质量要求包含但不限于：必须保证提供的设备是全新的，未使用过的；质量保证期从最终验收合格之日算起大于等于12个月。在此期间任何软、硬件升级不得收取任何费用。按说明书上要求进行正常操作的情况下，造成出现的任何故障及损坏，必须在2天内无偿维修。在使用过程中发现设备出现问题，必须在接到通报后2小时内给予用户明确答复，如需要到现场解决的，需在 48 小时内到达现场解决问题。质量保证期满后，乙方应提供优质的技术服务，并保证以优惠价格提供设备必须的各类备件、易损件和耗材。 需满足的服务要求包含但不限于：在交货时应提交所提供货物的技术文件，包括但不限于设备的中文技术文件：产品目录、图纸、操作手册、使用说明、维护手册和/或服务指南等。这些文件应包装好随同货物一起发运；需负责设备的装卸、现场安装、调试和启动监督；提供货物组装和维修所需的全部专用工具和辅助材料；就设备的安装、启动、运营、维护对使用单位操作人员进行培训，以上作为项目验收的前提保证。 需满足的安全要求包含但不限于：所采购的设备符合国家相关电气标准，具备完善的绝缘保护、过载保护等安全功能，并明确标注安全注意事项。 需满足的时限要求：自合同签订后60日。