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材料科学与工程学院热型原子层沉积系统(WSJJ20260115)网上竞价采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年06月23日

标书代写官方

摘要信息

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工程学院采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

热型原子层沉积系统	****
2026-06-23 15:04:00	2026-06-26 17:00:00
****	国产-本项目履约保证金为合同总额的5%，合同签订后5日内，乙方向甲方足额交付履约保证金。甲方验收合格后，乙方出具全额正规发票后，甲方一次性支付全额货款；质量保证期满，经甲方对乙方保修质量验收合格后，一次性退还履约保证金，履约保证金不计利息；质量保证期满后六个月内，若乙方未向甲方提出对保修质量进行验收的申请，视为乙方自动放弃履约保证金，甲方不再受理退还手续，履约保证金可由甲方自行处理。

	签订之日起30个工作日内
￥350000.00




**(校区)
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

热型原子层沉积系统

台

电池生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

普迪真空

PDALD-T100B

￥ 350000.00

1、反应腔体结构：样品台配有可拆卸片托，可放置100*100mm方片及以下尺寸；反应温度最高150℃，温度控制精度±1℃。 2、前驱体源系统：2 路标准加热前驱体源，配置Swagelok 高温快速ALD 阀（响应时间＜10 ms）、手动隔膜阀和50ML 不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度室温至200 ℃,控制精度± 1℃ ,另预留1 路前驱体源；1路水源，配置Swagelok 高温快速ALD 阀（响应时间＜10 ms）、手动球阀和50 mL 不锈钢源瓶；含两路载气系统，全套管路+VCR 密封，前驱体源管路具有在线清洗功能。 3、真空系统：高性能真空系统，整机极限真空＜5×10 -3Torr ，真空漏率＜5×10-7PaL/s；配置机械泵，额定抽速≥40m3/h；真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃,控制精度±1℃, 用于吸附、分解未反应的前驱体源；压力传感器（真空计）,真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化。 4、主机：高精度PLC + 4U 工控机，基于windows7 的高精度自动控制系统，满足原子层沉积工艺的要求；可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；多用户权限分配软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂选择悬停位置。

电话支持:7x24小时;质保期:1年;响应时间:报修后12小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品、送货上门/安装调试/技术培训;