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新兴交叉大楼（一期）项目（设备部分）溅射台等设备采购项目更正公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年06月23日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

溅射设备采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

文件编码：0722-26FE6436SZF-0

一、项目基本情况

原公告的项目编号：SZDL****001052

原公告的采购项目名称：**交叉大楼（一期）项目（设备部分）溅射台等设备采购项目

首次公告日期：2026年06月18日

二、更正信息

更正事项：招标文件

更正内容：

对招标文件第一册第二章技术部分如下内容进行更正：

名称	招标技术要求
溅射台	▲4.3 腔体漏率要求≤5x10-9 Torr﹒L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-9 Torr﹒L/s；(投标****设备厂内检测报告扫描件，原件备查）。
感应耦合式等离子化学气相沉积仪	▲3.2 腔体漏率要求≤5x10-8 Torr﹒L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-8 Torr﹒L/s(投标****设备厂内检测报告扫描件，原件备查)。
反应处理系统	▲4.2 腔体漏率要求≤5x10-8 Torr﹒L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-8 Torr﹒L/s；投标文****设备厂内检测报告。
其他技术要求	★3. 感应耦合式等离子体沉积仪和反应处理系统包括：感应耦合式等离子化学气相沉积仪主机1套，反应处理系统2台，机械泵2台，射频电源2台，分子泵2台，循环冷却系统2套，自动控压蝶阀2套，防腐蚀工艺规2套，8路气路。