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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0000MA1JE6500P | 建设单位法人:肖辉 |
| 钮豪杰 | 建设单位所在行政区划:**市**区 |
| **市**区林慧路1166号1幢 |
| 年产14亿颗高端封装及晶圆成品封测项目(一期) | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点: | **市**区 林慧路1166号1幢 |
| 经度:121.324040 纬度: 30.862300 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-07-10 |
| 金环许〔2024〕94号 | 本工程排污许可证编号:**** |
| 2026-01-07 | 项目实际总投资(万元):45000 |
| 270 | 运营单位名称:**** |
| ****0000MA1JE6500P | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| ****0000MA1JE6500P | 验收监测单位:****集团有限公司,******公司 |
| 913********673793C,913********590248D | 竣工时间:2026-03-06 |
| 2026-03-14 | 调试结束时间:2026-05-22 |
| 2026-05-26 | 验收报告公开结束时间:2026-06-24 |
| 验收报告公开载体: | https://e2.****.cn:8081/qygkweb/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=6399FE2210BF4FC08F443ED20FF054F3 |
| **项目 | 实际建设情况:**项目 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动:|
| 生产芯片(FCBGA)0.07亿个/a、芯片(FCCSP)1.16亿个/a、芯片(Final TEST)1.2亿个/a、晶圆(Wafer Probe)11.57亿个/a。 | 实际建设情况:项目分两期(一期和二期)建设,目前二期项目暂不实施,一期项目年生产芯片(FCBGA)0.035亿个 |
| 在实际建设中,公司因设备购置、安装和调试周期较长,故经企业内部决定,将项目分两期(一期和二期)建设,以满足客户加快推进项目建设投入生产的需求。 | 是否属于重大变动:|
| 晶圆贴膜、激光刻槽、晶圆切割、紫外线固化、板边镭射、冶具转换、烘干、表面贴装、松香清洗1、烘干、芯片贴装、松香清洗2、烘干、等离子清洗、点胶固化、散热片贴装、固化、植锡球、清洗、烘干、镭射打标、光学功能测试、包装入库 | 实际建设情况:晶圆贴膜、激光刻槽、晶圆切割、紫外线固化、冶具转换、烘干、表面贴装、芯片贴装、松香清洗、烘干、等离子清洗、点胶固化、散热片贴装、固化、烘干、镭射打标、植锡球、清洗、烘干、光学功能测试、包装入库 |
| 变动情况:一期项目芯片(FCBGA)生产取消了板边镭射、松香清洗1等工序,散热片贴装、固化工序后新增烘干工序,将镭射打标工序调整到植锡球工序前,对表面贴装、芯片贴装、松香清洗、等离子清洗等工序使用的辅料种类进行调整。 原因:企业结合前期在其他厂区的生产经验,为了提升产品合格率和产线效率,将冗余工序删除并优化工艺流程,变动必要。 | 是否属于重大变动:|
| 废气:项目烟尘废气、焊接废气、贴装废气、点胶固化废气、散热胶废气、注塑废气全部经设备密闭收集后,经“滤筒除尘器+沸石转轮吸附+RCO蓄热式催化燃烧装置”处理后通过15m高DA001排气筒排放,处理风量185000m3/h。化学除胶车间及电镀车间为独立密闭车间,产生的除胶废气、去毛刺废气、酸性废气全部经设备密闭收集后,经“碱喷淋+除湿+活性炭”装置处理后通过15m高DA002排气筒排放,处理风量27000m3/h。锅炉配低氮燃烧器,产生的锅炉废气通过1根15m排气筒DA003排放。应急柴油发电机产生的柴油燃烧废气通过15m排气筒DA004排放。 废水:项目产生切割废水、刻槽废水、研磨废水、松香清洗废水、有机废水、酸性废水、碱性废水、电镀废水、冷却塔废水、喷淋塔废水、纯水制备浓水、RO反冲洗水、锅炉废水、生活污水。纯水制备浓水全部进入冷却塔,不外排,切割废水经过污水处理设备TW001(处理能力:1800t/d,处理工艺:调节+过滤池+二级超滤池+RO设备+pH调节池)处理后;刻槽废水、研磨废水经过污水处理设备TW002(处理能力:500t/d,处理工艺:调节+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池)处理后;松香清洗废水、有机废水、喷淋塔废水、酸性废水、碱性废水经过污水处理设备TW003(处理能力:1200t/d,处理工艺:调节+芬顿反应池+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池)处理后;电镀废水经过污水处理设备TW004(处理能力:80t/d,处理工艺:调节+重金属混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池)处理后;与冷却塔废水、RO反冲洗水、锅炉废水、生活污水一并纳入市政管网。 固废:生活垃圾委托环卫部门清运;一般工业固废委托专业单位外运处置,一般工业固废贮存间采取防渗漏、防雨淋和防扬尘措施,并张贴环保图形标志,指定专人进行日常管理,建立固废管理台账;危险废物委托有相应资质单位外运处置,危险废物贮存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求建设,并张贴危险废物标志牌,指定专人进行日常管理,按规定建立危险废物管理台账,严格执行危险废物转移联单制度。 噪声:低噪声设备、降噪减振、合理布局、建筑隔声等噪声治理措施。 | 实际建设情况:废气:项目分两期建设,其中DA001排放废气涉及一期和二期的废气排放源,由于目前二期项目暂不实施,故一期项目DA001涉及的废气处理方案及处理风量暂未对二期项目进行预留,待二期实施时再对废气处理装置扩容或增加新的废气处理装置。项目涉及的其他排气筒DA002、DA004由二期建设,DA003由一期建设。 项目变动后一期项目烟尘废气、焊接废气、贴装废气、点胶固化废气、散热胶废气全部经“设备密闭+密闭车间”收集,采用“初中效过滤器+沸石转轮+RCO蓄热式催化燃烧装置”处理后,通过27m高排气筒DA001排放,处理风量36000m3/h;当废气处理措施故障时,采用备用的“活性炭吸附装置”处理后,通过DA001排气筒排放。锅炉配低氮燃烧器,产生的锅炉废气通过21m高排气筒DA003排放。 废水:项目分两期建设,其中TW001~TW003处理的废水涉及一期和二期的产污源,由于目前二期暂不实施,故一期项目TW001~TW003涉及的废水处理方案及处理能力暂未对二期项目进行预留,待二期实施时再对废水处理装置扩容或增加新的废水处理装置。项目其他废水处理装置TW004二期建设。 项目变动后一期项目产生刻槽废水、切割废水、松香清洗废水、冷却塔废水、纯水制备浓水、冲洗废水、锅炉废水、生活污水。切割废水、纯水制备浓水经污水处理设备TW001(处理能力:800t/d,处理工艺:调节+过滤池+二级超滤池+RO设备+pH调节池+过滤器)处理后;刻槽废水经污水处理设备TW002(处理能力:429t/d,处理工艺:调节+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池+过滤器)处理后;松香清洗废水经污水处理设备TW003(处理能力:489t/d,处理工艺:调节+芬顿反应池+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池+过滤器)处理后;与冷却塔废水、冲洗废水、锅炉废水、生活污水一并通过厂区污水总排口DW001纳入市政污水管网排放。 固废:一期项目生活垃圾委托环卫部门清运;一般工业固废委托专业单位外运处置,一般工业固废贮存间采取防渗漏、防雨淋和防扬尘措施,并张贴环保图形标志,指定专人进行日常管理,建立固废管理台账;危险废物委托有相应资质单位外运处置,危险废物贮存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求建设,并张贴危险废物标志牌,指定专人进行日常管理,按规定建立危险废物管理台账,严格执行危险废物转移联单制度。 噪声:一期项目部分生产设备和环保设备发生变动,噪声源发生变动,建设方拟采取以下降噪措施:①选购低噪声设备,设备安装应在底部安装隔振垫,基础减振降噪;②室外风机通过安装消声器、出口加装软连接、基础减振降噪;冷却塔、有机废气处理系统采用基础减振,冷却塔设置隔声屏障;③合理布局,充分利用建筑隔声,以阻挡噪声对室外的传播;④加强对机械设备的维修与保养,避免因老化引起的噪声。 |
| 变动情况: ◆废气: ①排气筒DA001额定风量由185000m3/h调整为36000m3/h,排放高度由15m调整为27m,对应的废气处理措施中的****初中效过滤器,沸石装填量由6吨调整为3吨,新增一套备用活性炭吸附装置(活性炭装填量5t);排气筒DA003排放高度由15m调整为21m。 ◆废水: ①由于二期项目暂不实施,一期项目污水处理设备TW001~TW003处理工序及处理能力暂未对二期项目进行预留,待二期实施时再对污水处理设备进行扩容或增加新的污水处理设备,故对一期项目污水处理设备TW001~TW003处理工序进行调整,在pH调节池后增设多介质过滤器和排放水池,将TW001处理能力由1800t/d调整为800t/d,将TW002处理能力由500t/d调整为429t/d,将TW003处理能力由1200t/d调整为489t/d。 ②纯水制备浓水由进入冷却塔回用调整为经TW001处理后,纯水回用,其余浓水纳管排放。 ③污水总排口DW001位置发生变动,具体见附图。 ◆环境风险: 2#****处理站内新增1个废水事故池,容积为512m3;厂房外废水事故池由2个调整为1个,总容积由1200 m3调整为504m3。变动后废水事故池总容积为1016m3。 ◆固废: 固体废物的产生量发生变动,废过滤耗材、废催化剂、沾染化学品的废污泥、废过滤材料、沾染化学品的废包装、废活性炭等固体废物产生量增加。 原因: ◆废气: 因二期项目暂不实施,考虑到运行成本,暂不对二期项目进行预留,故DA001额定风量及对应的废气处理措施根据一期项目生产工艺和预估排污量进行调整,并根据厂房高度同步对排气筒DA001、DA003高度进行调整,变动必要。 ◆废水: ①因二期项目暂不实施,考虑到运行成本和废水处理效率,故对污水处理设备TW001~TW003处理能力和处理工艺进行调整,变动必要。 ②因纯水制备浓水无法满足冷却塔对进水水质的要求,故该浓水需经过TW001处理后方可满足进水水质要求,进行回用,变动必要。 ③****园区总排放口,****园区未来有其它企业入驻,因此将排放口变更为本项目单独使用的排放口,变动必要。 ◆环境风险: 企业在2#****处理站内新增1个废水事故池,可就近收集事故状态下生产废水,减少收集过程中二次污染,变动必要。 因厂内已设置具有一定容积的废水事故池,故厂房外考虑施工成本和施工区域面积等因素,在满足可收纳项目事故废水的前提下,将应急事故池由2个调整为1个,总容积由1200 m3调整为504m3,变动必要。 变动后废水事故池仍为2个,总容积为1016m3,总容积变化不大。 ◆固废: 因生产工艺、原辅料、废气处理措施、废水处理措施变动导致固废变动,变动必要。 | 是否属于重大变动:|
| 位于2#****基地,设2个50m3液氮储罐。 污水处理站设置1个3吨液碱罐,贮存30%NaOH溶液;1个2吨硫酸储罐,贮存40%H2SO4,****处理站废水处理工序。 | 实际建设情况:位于2#****基地,设 1 个10m3液氮储罐。 污水处理站设置1个1吨液碱加药箱,通过片状氢氧化钠与水调配成9%NaOH溶液;1个1吨硫酸加药箱,贮存30%H2SO4,****处理站废水处理工序。 |
| 变动情况: ◆储运工程: ①液氮罐区50m3液氮储罐调整为10m3液氮储罐。 ②污水处理站2吨硫酸储罐(40%H2SO4)和3吨液碱罐(30%NaOH)调整为1吨硫酸加药箱(30%H2SO4)和1吨液碱加药箱(9%NaOH)。 ◆平面布置: 项目车间2层平面布置发生变动,切割区、板边镭射区取消,****办公室、会议室,调整为培训室、校验室、DCC档案室和IT储藏室等。 ◆原辅料使用: 芯片(FCBGA)生产涉及的原辅料种类及用量发生变动。 ◆生产及辅助设备: 芯片(FCBGA)生产涉及的设备种类和数量发生变动。 原因: ◆储运工程: ①因二期项目暂不实施,一期项目液氮需求量较低,考虑到运行成本,调整液氮储罐体积,变动必要; ②根据建设单位提供资料,2吨硫酸储罐(40%H2SO4)和3吨液碱罐(30%NaOH)原设计为废气加药间存储装置,环评识别有误,且目前暂未实施。污水处理站一期项目涉及使用的为1吨硫酸加药箱(30%H2SO4)和1吨液碱加药箱(9%NaOH),故储罐进行调整,变动必要。 ◆平面布置: 因工艺变动导致生产区域平面布置变动,****办公室、会议室已满足办公要求,故2层增加其他功能区,变动必要。 ◆原辅料使用: 因工艺变动导致原辅料变动,变动必要。 ◆生产及辅助设备: 因工艺变动导致设备变动,变动必要。 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 16.5 | 17.1927 | 0 | 0 | 16.5 | 16.5 | |
| 0 | 2.599 | 24.432 | 0 | 0 | 2.599 | 2.599 | |
| 0 | 0.0096 | 1.549 | 0 | 0 | 0.01 | 0.01 | |
| 0 | 0.014 | 0.349 | 0 | 0 | 0.014 | 0.014 | |
| 0 | 0.373 | 1.985 | 0 | 0 | 0.373 | 0.373 | |
| 0 | 24331.1 | 24331.1 | 0 | 0 | 24331.1 | 24331.1 | / |
| 0 | 0.0138 | 0.0212 | 0 | 0 | 0.014 | 0.014 | / |
| 0 | 0.1573 | 0.1606 | 0 | 0 | 0.157 | 0.157 | / |
| 0 | 0.0045 | 0.0261 | 0 | 0 | 0.005 | 0.005 | / |
| 0 | 0.0524 | 0.0546 | 0 | 0 | 0.052 | 0.052 | / |
| 0 | 0 | 0.0033 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | 污水处理设备TW001、污水处理设备TW002、污水处理设备TW003 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)表1间接排放标准、《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)表2三级标准 | 一期项目产生刻槽废水、切割废水、松香清洗废水、冷却塔废水、纯水制备浓水、冲洗废水、锅炉废水、生活污水。切割废水、纯水制备浓水经污水处理设备TW001(处理能力:800t/d,处理工艺:调节+过滤池+二级超滤池+RO设备+pH调节池+过滤器)处理后;刻槽废水经污水处理设备TW002(处理能力:429t/d,处理工艺:调节+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池+过滤器)处理后;松香清洗废水经污水处理设备TW003(处理能力:489t/d,处理工艺:调节+芬顿反应池+混凝池+絮凝池+沉淀池+pH调节池+过滤器)处理后;与冷却塔废水、冲洗废水、锅炉废水、生活污水一并通过厂区污水总排口DW001纳入市政污水管网排放。 | 达标 |
| 1 | 初中效过滤器+沸石转轮+RCO蓄热式催化燃烧装置 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)表2 | 一期项目烟尘废气、焊接废气、贴装废气、点胶固化废气、散热胶废气全部经“设备密闭+密闭车间”收集,采用“初中效过滤器+沸石转轮+RCO蓄热式催化燃烧装置”处理后,通过27m高排气筒DA001排放,处理风量36000m3/h;当废气处理措施故障时,采用备用的“活性炭吸附装置”处理后,通过DA001排气筒排放。 | 达标 |
| 1 | 降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准 | 采取以下降噪措施:①选购低噪声设备,设备安装应在底部安装隔振垫,基础减振降噪;②室外风机通过安装消声器、出口加装软连接、基础减振降噪;冷却塔、有机废气处理系统采用基础减振,冷却塔设置隔声屏障;③合理布局,充分利用建筑隔声,以阻挡噪声对室外的传播;④加强对机械设备的维修与保养,避免因老化引起的噪声。 | 达标 |
| 1 | 本项目在2#厂房的西北侧设有1个500m3废水事故池,1个700m3废水事故池,池体内部铺设有防渗层,末端设有雨水截止阀。 | 项目在2#****处理站内设有1个512m3废水事故池;并在园区西北侧设有1个504m3废水事故池,池体内部铺设有防渗层,末端设有雨水截止阀。 |
| / | 验收阶段落实情况:/ |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |