中国科学院上海光学精密机械研究所气浮静压主轴单一来源采购公式

****受**** 委托，根据《****政府采购法》等有关规定，现对****气浮静压主轴进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：****气浮静压主轴

项目编号：****

项目联系方式：

项目联系人：陈永亮、陶琳琳

项目联系电话：021-****9073、180****9807

采购单位联系方式：

采购单位：****

采购单位地址：**市**区**路390号

采购单位联系方式：戴 君 021-****8871

代理机构联系方式：

代理机构：****

代理机构联系人：陈永亮、陶琳琳 021-****9073、180****9807

代理机构地址： **市**区恒丰路600号机电大厦5楼B座办公室

一、采购项目内容

（一）项目信息

1.采购人：****

2.项目名称：****气浮静压主轴

3.拟采购货物的说明：采购2套气浮静压主轴。

4.拟采购货物的预算金额：197万元（人民币）；最高限价：人民币197万元（人民币）。

5.采用单一来源采购方式的原因及说明:

主要技术指标：

Φ 气浮静压主轴的负载：正24面体，外接圆直径150mm，材料为6061铝合金，厚度16mm。

Φ 转速：20000RPM；

Φ 速度稳定性5ppm；

Φ 能够对主轴前后两端进行动平衡调节，测量动平衡径向振动在50nm以内；

Φ 气浮静压主轴重量：≤60Kg；

Φ 外形尺寸：直径≤220mm，长度≤600mm；

此设备主要用于微纳曝光系统所需高精度刻写过程中的激光高速、高精度扫描，对转速和动态轨迹误差要求较高，是微纳曝光系统的必备组件，调研国内外对**下：

本次需求的主轴具有大负载和高转速的特点，同时对主轴的转速稳定性和径向跳动提出了较**求，属于小众需求，市场上难以找到标准产品。

目前国内市场比较知名且成熟运营的主轴供应商******公司和****公司，分别可以提供的ZCS-1650D06电主轴和DGZC-12008电主轴，作为国内已有的高精度电主轴，负载可以满足要求，但转速分别为6000 rpm、8000 rpm，精度均在亚微米级别，无法满足本项目的技术要求。

国外公司，德国Levicron品牌为全球水平最高的气浮主轴供应商之一，其超精密气浮静压电主轴ASD010P120可以满足负载的要求，但转速只能达到10000RPM，且只能进行单端调动平衡，经项目组实测，另外一段在无法调动平衡的情况下，振动超过200nm，无法满足项目需求。另外可以选择的美国PI品牌气浮主轴系列、德国Ptrcitech品牌系列，在空转运行状态下的精度、稳定性方面可以满足本项目要求；但是负载力较差，在本项目中无法确保在搭载正24面体且高速旋转时仍然维持高精度和稳定性。

本项目前期已先后两次通过公开招标方式采购****的气浮静压主轴（型号ABS-2W80-LM），产品投入实际使用后，运行状态稳定、各项技术参数达标，完全契合项目建设标准与现场使用工况，整体使用效果良好，设备兼容性、运维适配性均满足项目实际需求。再次采购此产品可以保障项目整体建设标准统一、规格一致、系统兼容，确保整套设备技术参数、性能指标、接口协议、配套配件及后期运维服务完全匹配前期已投用设备，避免因更换不同品牌、不同型号产品出现系统对接不畅、设备联动异常、运维标准不统一、后期维修配件不通用等问题，保障项目整体运行连续性、稳定性与后期整体维保便利性，最大程度降低项目运维成本与使用风险。同时，本次的采购预算低于公开招标限额，拟采用单一来源进行采购。

（二）拟定供应商信息

名称：****

地址：**市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋12层厂房01单元

（三）公示期限

2026年06月25日至2026年07月02日

二、开标时间：2026年07月07日 13:30标书代写

三、其它补充事宜

本项目单一来源公示期为2026年06月25日至2026年07月02日，每天上午09:00至11:30，下午13:00至16:30（**时间，法定节假日除外 ）。任何供应商、单位或个人对此单一来源采购方式有异议，可以在本公示期内将书面意见反馈给采购单位和代理机构。

单一来源采购文件领取地点：**市**区恒丰路600号机电大厦5楼B座办公室，****。

本项目开标时间拟定于：2026年07月07日13:30标书代写

递交谈判响应文件地点：**市**区**路150****饭店1号楼604会议室

四、预算金额：

预算金额：197.000000 万元（人民币）