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| 1 | 定制基底1 | 500mm*55mm*5mm,肖特BF33, 白光轮廓仪16点位测量,50*2倍率,PV值中位数<2.5nm,RMS值中位数 <0.2nm,RMS中位数IQR<0.05nm, RMS中位数MAD<0.03nm; TTV<5μm; | 片 | 5 | 30天 | 散裂中子源D3大厅 | ||
| 2 | 定制基底2 | 500mm*60mm*5mm,肖特BF33, 白光轮廓仪16点位测量,50*2倍率, PV值中位数<2.5nm,RMS值中位数 <0.2nm,RMS中位数IQR<0.05nm, RMS中位数MAD<0.03nm; | 片 | 10 | 60天 | 散裂中子源D3大厅 | ||
| 3 | 定制基底3 | 505mm*505mm*5mm,肖特BF33, 白光轮廓仪16点位测量,50*2倍率, PV值中位数<2.5nm,RMS值中位数 <0.2nm,RMS中位数IQR<0.05nm, RMS中位数MAD<0.03nm; TTV≤10μm; | 片 | 3 | 60天 | 散裂中子源D3大厅 |