晶圆磨损设备

发布时间: 2026年06月26日
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***********公司企业信息
竞价结果详细(****)
申购单主题: 晶圆磨损设备 申购单位: **** 申购人: 刘念
报价类型: 国内含税价 使用币种: 人民币 公告发布时间: 2026-06-22 16:47:47
申购备注:
提示:采购结果公告三个工作日,各供应商或师生如对下述采购结果有异议,请在公告期间以书面形式并附相关****大学南校园415栋316****中心收(如为供应商需加盖单位公章,如为师生需签名),联系电话:020-****1892
设备名称 品牌/厂商 型号 数量 售后服务
晶圆磨损设备 定制 定制 1 1、设备整机质保期12个月,质保期内非人为损坏免费维修、更换配件。 2、乙方提供免费安装、调试、技术指导服务。
规格
1、设备概述本设备为晶圆磨损设备,主要用于产品定位、旋转测试、真空吸附固定、精密姿态调校等工艺场景。设备具备高转速、**面精度、高负载、高真空吸附能力,结构稳固、运行平稳,具备良好的可扩展性,满足自动化产线长期连续运行要求。2、核心技术参数(硬性指标)乙方交付设备必须满足以下全部参数要求,所有参数为出厂必检项,不允许负偏差:2.1最大旋转转速:≥1000rpm(连续稳定运行,无抖动、无异常异响)2.2转盘端面跳动精度:≤15μm2.3最大额定载荷:50kg2.4真空系统性能:设备最低极限真空度 ≤10Pa2.5设备外形尺寸:1000mm(长)×1000mm(宽)×2000mm(高)2.6设备整机重量:900KG(误差≤±50KG)2.7供电电气规格:单相AC220V、50Hz,适配常规工业用电环境3、设备功能与性能要求3.1 旋转运动性能:在0~1000rpm全转速区间运行平稳,无明显振动、漂移,满足精密测试工艺要求。3.2 平面精度稳定性:转盘工作面经过精密加工与调校,高速运行工况下端面跳动始终控制在15μm以内。3.3 真空系统:集成独立真空回路,可快速抽真空,上下腔体极限真空度可达10Pa及以下。3.4 结构与承重性能:整机采用高强度机架结构,刚性强,可长期承受50kg额定负载持续运行,设备无变形、无晃动。3.5 扩展接口要求(标配预留)3.5.1设备需预留标准化扩展接口,满足后续功能升级需求,包含但不限于:IO信号对接接口,预留工装拓展安装位。3.5.2设备可适配后续自动化改造。4、电气与安全要求4.1设备额定供电AC220V,电气布局规范,具备过载、短路、漏电保护功能。4.2配备急停、报警、状态指示灯等安全装置。4.3整机符合工业设备安全标准,绝缘、接地、防护满足使用要求。4.4设备运行噪音低、震动小。
中标供应商 单价(元) 初选理由
**** 330000
招标进度跟踪
2026-06-26
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