低温超高真空扫描隧道显微镜

A****0301显微镜

低温超高真空扫描隧道显微镜：1台，性能要求： 1.快速进样室：材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁需进行电化学抛光处理。真空度：没有烘焙的情况下好于5×10-7mbar，烘焙后的情况下好于1.33×10-8 mbar。 2.制备室：材料为不锈钢304，腔体外径为203mm，内壁需进行电化学抛光处理。 真空度：完全烘烤后本底真空好于3×10-10 mbar； 3.样品加热：直流电加热1300 deg. C，电子束轰击加热1000 deg. C 4.EB样品尺寸：4*4mm，高度1mm 5.观察室：材料为不锈钢316，腔体外径为353mm，内壁需进行电化学抛光处理。 真空度：烘烤后真空度优于3.0×10-10 mbar（除首次烘烤外，达到该真空度的烘烤时间不超过5天），液氮温度以下优于2.0×10-10 mbar； 6.低温控制：使用液氦（He-4）在普通制冷模式时最低温度小于5 K，包含液氦输液管；具有冷却到液氦温度以下的特殊冷却装置（例如JT制冷），开启该冷却功能后在液氦（He-4）工作状态下最低温度可达到1.4 K以内，且最低温度时温度稳定性优于1 mK；包含用于氦气循环冷却环流的泵，气体处理以及循环冷却的阀门单元。 7.扫描范围：室温下：最大的XY扫描范围：4.0um*4.0um，feedback Z:500nm@±220V 5K以下：最大的扫描范围：1.0um*1.0um，feedback Z:150nm@±220V *最大电压为230V 8.温飘：温度稳定后，78 K温度下XY方向温漂小于0.2 nm/小时，5 K温度以下XY方向温漂小于0.05 nm/小时，且Z方向温漂小于0.1 nm/天，5 K温度以下的最小电流小于2 pA。 9.JT冷却功能：用于冷却到液氦温度以下的JT冷却装置，适用相应制冷JT制冷功能的样品架，最低温度低于1.4K，由于流入的热量增加，液氦和液氮的维持时间将比没有JT冷却功能的情况下短。JT冷却的氦气循环装置用于JT冷却环流的泵，气体处理以及循环冷却的阀门单元. 10.本系统所用部件均采用满足3T磁场使用的无磁材质，3T超导磁铁，3T（20A）超导磁铁和控制电源，最大磁场：垂直于样品表面的3T 11.液氦和液氮的保留时间将比没有磁铁功能的情况下短，因为磁铁引线的热流入增加。 12.配有铜制导热带，链接低温位移器与低温系统的冷端.

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