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原位等离子体掺杂去掺杂机
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****2026年6至12月政府采购意向-原位等离子体掺杂去掺杂机 详细情况
| 原位等离子体掺杂去掺杂机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 原位等离子体掺杂去掺杂机 |
| 预算金额： | 203.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
该设备用于有机半导体薄膜原位生长中的掺杂/去掺杂，功能上集成等离子系统、气路控制系统、高真空系统、分子束外延蒸发源和可移动变温样品台，核心参数等离子体密度大于10^17 m-3，离子能量可调，适用于N2, O2, H2, CH4, Ar等多种工作气体，支持多路气体独立或混合控制，流量范围0-100 sccm，满量程精度0.2%，真空度小于10^-5 Pa，配备石英晶振膜厚监测仪、全量程真空计，配备六个分子束外延蒸发源，蒸发源最高温度为 500 °C，温度控制精度为 0.5 °C，4英寸样品台可在z轴方向上进行10 cm范围的移动和360°旋转，温控精度 0.5°C。
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| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-06-29
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