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动投创新园一期1.3期大宗气站项目 [物元半导体技术（青岛）电子大宗气供应项目]（一期）

审批

山东-青岛-城阳区

发布时间： 2026年06月29日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0214MAE8PEF42D	周波
张淳晖	省市**区
省市**区棘洪滩街道锦盛二路188号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

动投创新园一期1.3期大宗气站项目 [物元半导体技术（**）电子大宗气供应项目]（一期）	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**区棘洪滩街道锦盛二路188号
经度:120.237920 纬度: 36.326230	**环境局分局
	2025-06-25
青环审（**）〔2025〕47号	****0214MAE8PEF42D001X
2026-05-26	8450
10	****
****0214MAE8PEF42D	******公司
****0214MA3RTR1C3P	****公司
****0782MADHJRCQ24	2026-05-05

2026-05-28	2026-06-26
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=60522R0pcN

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目总投资11000万元，其中环保投资10万元，占地面积10320m2，建筑面积约2471.1m2，主要建筑包括1座3F主厂房及附房、1座2F综合楼、1座1F纯化间。项目从空气中制备压缩空气及氮气（GN2及PN2）外供给物元半导体**公司；外购氢气、氦气通过减压外供给物元半导体公司；外购储存液态氧气、氩气、二氧化碳并通过减压外供给物元半导体公司。压缩空气（CDA）、氮气（GN2及PN2）设计产能及供应量分别为8000Nm3/a、44000Nm3/a（GN2 6000Nm3/a、PN48000Nm3/a）；氢气（PH2）、氦气（PHe）设计供应量分别为680Nm3/a、306600Nm3/a；液态氧气、氩气、二氧化碳设计最大储存量分别为60Nm3、30Nm3、50Nm3，设计供应量分别为600Nm3/a、490560Nm3/a、402960Nm3/a。以管道供气方式向物元半导体**公司供应所需气体。	项目分期建设，分期验收。项目一期投资8450万元，其中环保投资10万元；主要建设7000Nm3 /h 纯氮装置、CDA系统、液体气化系统（液氧、液氮、液氩、二氧化碳）、氢氦供应系统以及纯化系统。项目一期于2026年5月建成投产，空气（CDA）、氮气（GN2及PN2）验收产能及供应量分别为CDA **0000Nm3/a、0000Nm3/a（GN2 6000Nm3/a、PN2 4000Nm3/a）；氢气（PH2）、氦气（PHe）外购供应量分别为680Nm3/a、306600Nm3/a；液态氧气、氩气、二氧化碳最大储存量分别为60Nm3、30Nm3、50Nm3，外购供应量量分别为600Nm3/a、490560Nm3/a、402960Nm3/a。以管道供气方式向物元半导体**公司供应所需气体。
项目分期建设，分期验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

氮气：空气过滤、压缩、冷干、纯化、制氮、过滤、测量；压缩空气：过滤、压缩、冷干、干燥、过滤、离心压缩、过滤、测量；氢气、氦气：调压、纯化、过滤、测量；氧气、氩气、二氧化碳：气化、纯化、过滤、测量。	氮气：空气过滤、压缩、冷干、纯化、制氮、过滤、测量；压缩空气：过滤、压缩、冷干、干燥、过滤、离心压缩、过滤、测量；氢气、氦气：调压、纯化、过滤、测量；氧气、氩气、二氧化碳：气化、纯化、过滤、测量。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

主要污染防治设施有:密闭车间、隔声门窗、危险废物暂存间等。项目冷干机空气凝结水作为冷却水循环使用，循环冷却排污水经厂区生产废水管网排入东侧物元半导体**公司污水处理系统，处理后通过市政污水管网排处理厂。生活污水经化粪池收集后经厂区生活污水管网排入东侧物元半导体公司生活污水管网，公司一起排入市政污水管网**处理厂。废滤芯、废吸附材料由设备制造商更换时回收。废机油、废压缩机油、废油桶、废油水混合物分类收集后暂存于危废暂存间，委托有资质单位进行处置。	厂区内增设DW001生活污水排放口、DW002工艺废水排放口。循环冷却排污水处理排放方式由经东侧物元半导体**公司污水处理系统处理，通过物元半导体公司污水管网排入市政污水管网变更为通过厂区DW002工艺废水排放口经物元半导体公司生产废水管网排入市政污水管网。废滤芯、废吸附材料，暂存于一般固废暂存处（2m2），定期回收综合利用。废机油、废压缩机油、废油桶、废油水混合物分类收集后暂存于危废暂存间，委托**进行处置。
环评中，循环冷却排污水经东侧物元半导体**公司污水处理系统处理，通过物元半导体公司污水管网排入市政污水管网。为优化厂区水污染物排放管控，实际建设为，厂区内增设DW001生活污水排放口、DW002工艺废水排放口。循环冷却排污水由DW002工艺废水排放口经东侧物元半导体公司生产废水管网排入市政污水管网。DW001生活污水排放口CODCr、BOD5、SS排放浓度及pH执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准，氨氮排放浓处理厂进水水质要求；DW002工艺废水排放口CODCr、SS排放浓度及pH执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准，氨氮、溶解性总固体排放浓**处理厂进水水质要求。环评中，废滤芯、废吸附材料由设备制造商更换时回收。实际建设为，暂存于一般固废暂存处，定期回收综合利用。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实环境安全风险防范措施。制定突发环境事件应急预案并报生态环境主管部门备案;严格操作管理，控制事故风险，定期开展应急培训和演练，有效防范并妥善处置突发环境事件,确保环境安全。严格依据标准规范建设环境污染防治设施健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门:	已落实环境安全风险防范措施，已制定突发环境事件应急预案并报生态环境主管部门备案；严格操作管理，控制事故风险，定期开展应急培训和演练，有效防范并妥善处置突发环境事件,确保环境安全。已严格依据标准规范建设环境污染防治设施健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门:
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

2.5448	0	2.545	2.545
1.08	1.152	1.08	1.08
0.005	0.015	0.005	0.005
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

严格落实水污染防治措施。项目冷干机产生的空气凝结水用做纯氮系统和后备系统冷却水循环使用，定期排污。冷却排污水、生活污水均依托物元半导体****公司污水处理系统处理，达标后的尾水通过市政污水管网排****处理厂。

工艺废水、生活污水排放执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准要求；生活污水氨氮排放浓度执****处理厂进水水质要求；工艺废水氨氮、溶解性总固体排放浓度执****处理厂进水水质要求。

项目冷干机产生的空气凝结水用做纯氮系统和后备系统冷却水循环使用，定期排污。冷却排污水、生活污水分别依托物元半导体****公司生产废水管网和生活污水管网排入市政污水管网，最终排****处理厂。

已监测厂区DW001生活污水排放口、DW002工艺废水排放口

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

严格落实噪声污染防治措施。固定噪声源合理布局，选用低噪声设备，并采取隔声、减振等综合治理措施。

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）表1中的2类区限值要求

项目固定噪声源合理布局，已选用低噪声设备，并采取隔声、减振等综合治理措施。

已监测厂界噪声

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

增设危废暂存间一处

增设危废暂存间一处、一般固废暂存间一处

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程