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6英寸激光平面干涉仪（清采比选20260834号）采购公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
| 6英寸激光平面干涉仪 | 项目编号清采比选****0834号 | |
| 2026-06-29 17:13:53 | 公告截止日期2026-07-02 18:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后50%，到货验收合格后50% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个自然日内 | |
| ￥ 440000.00 | ||
| **市**** | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单
| 6英寸激光平面干涉仪 | 1 | 套 |
| ￥ 440000.00 |
| ◆6英寸激光干涉仪主机： 1）测试结构：菲索干涉卧式结构；2）相移方式：机械相移； 3）光源波长：λ=633nm±0.2nm；4）有效测试口径：≥Φ150mm； 5）相机分辨率：≥2.0K×2.0K；6）变焦：1X-5X光学变焦； 7）调焦范围：≥±2.0m； 8）平面透射标准镜（TF）：有效口径≥Φ150mm；标准面精度：PV≤λ/20， RMS≤λ/60（需提供第三方检测机构出具的检测报告）；中频PSD1≤0.8nm；波前梯度GRMS1≤2.6nm； 9）系统检测精度：PV≤λ/20；10）系统重复性精度：RMS≤λ/2000； 11）系统传递函数：ITF≥0.85 @ 0.4mm-1 （需提供标准台阶板测试报告）； 12）五维调整架：含三维平移与两维角度调节、元件加持三爪卡盘，其中，XYZ三维平移：平移范围±7.5mm，平移步进精度0.02mm；XY两维角度调节：调节范围±0.75°，调节精度0.02°；三爪卡盘自定心，最大夹持元件口径≥Φ150mm。 ◆导轨及光栅尺 1）导轨及底座：有效长度2m，直线度≤5μm；包含安装底座； 2）光栅尺：有效长度2m，测距精度1μm，重复定位精度0.5μm，测试数据可数字化显示。 ◆光学气浮隔振平台 1）平台尺寸：3000mm×1200mm；2）台面采用高导磁性不锈钢，抛亚光密纹理处理； 3）台面按照孔距（25mm×25mm）布置M6螺孔通孔；4）台面平面度：±0.1mm/m2； 5）台面表面粗糙度：≤1.6μm；6）平台采用（四）支撑基础； 7）平台固有频率：垂直1.0Hz-2.0Hz，水平1.0Hz-2.0Hz；8）平台调平方式：自动调平； 9）平台调节高度：±10mm；10）平台隔振方式：空气弹簧。 |
| 12个月 |
招标进度跟踪
2026-07-02
2026-06-29
招标公告
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