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| 1 | ****超精密晶圆加工级静压共面气浮平台 | 标的名称:超精密晶圆加工级静压共面气浮平台;标的数量:1套;标的目标:实现高精度平面二维运动与定位功能,满足纳米级位移测量及超精密传感器性能测试需求。平台应具备优异的直线度、平面度、重复定位精度及运动稳定性,可为纳米时栅平面二维位移传感器的结构设计、性能验证、误差分析及精度提升提供可靠实验条件。同时,平台需满足高精度运动过程中低振动、低摩擦及低噪声运行要求,以保证超精密测量结果的准确性和稳定性。该平台还需具备超精密传感器性能测试与工艺验证功能,可对纳米时栅传感器的分辨率、重复性、稳定性、可靠性及抗干扰能力等关键指标开展系统测试与综合评估,并能够满足微纳加工工艺验证及高精度器件测试需求。;标的要求:四、 1.定制平台的技术参数与采购合同一致,性能指标达到规定标准;采购方可以全程参与或监督设计与优化过程;设备应采用成熟可靠的超精密运动控制技术,具备三维直线运动和多自由度旋转运动能力,满足多轴联动控制需求;系统应具有高分辨率、高重复定位精度、高稳定性和低振动特性,能够满足球面时栅传感器超精密测试及多自由度姿态测量研究需求;设备应支持长时间稳定运行,并具备良好的动态性能和环境适应能力,保证测试数据的准确性和重复性;设备应具备良好的开放性和扩展能力,支持后续功能升级、控制接口扩展及二次开发。中标人应提供完备的测试平台、设计资料、装箱单和合格证,并进行现场调试验证,平台试运行正常后方可最终验收。 2.质保期1年。质保期内投标人应提供技术支持服务,包括电话咨询和现场响应服务;电话咨询无法解决的,应在48小时内到达现场处理,无法在48小时内解决的,应在72小时内提供完善的解决方案。中标单位应负责设备运输、安装、调试及验收,并提供完整的技术文件、操作说明书及相关资料。中标单位应对使用人员进行现场培训,使其能够熟练掌握设备操作、维护及基本故障处理方法。提供长期技术支持服务,满足后续科研开发及系统升级需求。 3.设备应具备完善的机械限位、电气限位及紧急停止保护功能,确保系统安全可靠运行。控制系统应具备故障报警、异常保护及自动停机功能,防止误操作导致设备损坏。设备设计、制造及安装应符合国家有关机械安全、电气安全及环境保护要求。系统运行过程中应具有良好的电磁兼容性能,不影响其他实验设备正常工作。设备应能够在规定环境条件下稳定运行,保证实验人员和设备安全。 4.本项目涉及产品需出具第三方检定证书,无知识产权风险。 中标人应在采购合同签订后360天内交货并完成调试。 | 240.00 | 2026年7月 |