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华电采购离子束刻蚀机控制器、水冷刻蚀样品台

结果-中标通知

广东 -广州

发布时间： 2026年06月29日

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摘要信息

中标单位

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招标联系人

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代理单位联系人

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华电采购控制器样品

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

华电采购离子束刻蚀机控制器、水冷刻蚀样品台

竞价结果公告(****)

开始时间：2026-06-22 10:59:38 截止时间：2026-06-25 10:59:38

成交单位：****

成交价： 76800.000元

说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。

采购单位：****	联系人：苏绍强
E-mail：无	联系电话：186****2309
传真：无	联系手机：无
邮编：无	平台联系电话（异议）：020-**9972；**@qq.com
项目名称：华电采购离子束刻蚀机控制器、水冷刻蚀样品台	竞价编号：****
采购类型：货物类	开始时间：2026-06-22 10:59:38
项目预算(元)：77,000.00	结束时间：2026-06-25 10:59:38
质保期及售后要求：按原厂售后服务进行
其他要求：无

响应情况

资格及商务响应情况项目竞价要求响应情况报价情况标的名称生产厂商/品牌、型号规格数量响应情况单价（元/%）技术响应标的名称技术要求响应情况

资格条件	无		无
付款方式	完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。		完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。
交付时间	合同签订后30个工作日内交付		合同签订后30个工作日内交付
履约保证金：	无需履约保证金		无需履约保证金
交付地址	省市区**大学城校区理五栋526
质保期及售后要求	按原厂售后服务进行		按原厂售后服务进行
其他要求：	无		无
离子束刻蚀机控制器	**埃德万斯、IBE-150	1.00	**埃德万斯、 IBE-150	49300.000元
水冷刻蚀样品台	**埃德万斯p150mm、p150mm	1.00	**埃德万斯p150mm、 p150mm	27500.000元
总报价	76800.000 元
离子束刻蚀机控制器	离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。		1 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式； 2 支持单工艺及多工艺组配方存储； 3 具备操作与运行记录自动追溯功能； 4 集成故障自诊断与报警互锁安全机制； 5 可选配OES终点检测控制信号接入。
水冷刻蚀样品台	水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃）		1. 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）； 2. 倾角调节范围为±90°双向倾斜； 3. 具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品； 4. 工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃）
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