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武汉金源半导体核心部件表面处理和精密清洗建设项目（一期）
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0710MAEJBYP871 | 建设单位法人：刘亚 |
| 袁鹏 | 建设单位所在行政区划：**省鄂****开发区 |
| ****开发区润阳**侧，**佳海实业有限公 司厂区（西栋） |
建设项目基本信息
| **金源半导体核心部件表面处理和精密清洗建设项目（一期） | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:081- | 行业类别（国民经济代码）：C398-C398-电子元件及电子专用材料制造 |
| 建设地点： | **省鄂****开发区 ****开发区润阳**侧，**佳海实业有限公 司厂区（西栋） |
| 经度:114.619120 纬度: 30.520020 | ****机关：****审批局 |
| 环评批复时间： | 2025-12-26 |
| 鄂葛审〔2025〕126号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2026-02-12 | 项目实际总投资(万元)：5000 |
| 300 | 运营单位名称：**** |
| ****0710MAEJBYP871 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0710MAEJBYP871 | 验收监测单位：******公司 |
| ****0100MA4KUPGY46 | 竣工时间：2026-03-31 |
| 调试结束时间： | |
| 2026-05-28 | 验收报告公开结束时间：2026-06-29 |
| 验收报告公开载体： | https://www.js-eia.cn/ |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产气体 分散器0.8万支、腔体盖板0.6万支、屏蔽层0.9万支、腔体内衬1万支、加热盘0.7万支、陶瓷环1.9万支、绝缘体1.9万支、窗口0.3万支、石英环1.9万支 | 实际建设情况：年产气体 分散器0.8万支、腔体盖板0.6万支、屏蔽层0.9万支、腔体内衬1万支、加热盘0.7万支、陶瓷环1.9万支、绝缘体1.9万支、窗口0.3万支、石英环1.9万支 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 主要工艺步骤简介：项目生产可按主要元件材质分为金属材质，陶瓷和石英材质共两条生产线。项目生产主要分为机械加工、化学物质清洗和喷金三道工段。 1 、机械加工：根据建设单位提供资料，项目按照客户要求，将少量半导体设备部件进行圆形与平面裁剪修整后再进行清洗，该部分修整量约占总量的0.8% 。该工序会产生边角料固废。 2 、清洗：半自动化操作，人工将半导体部件放置在清洗设备入口，再通过机械臂拿取移动，沉浸入洗槽内。 （1）金属材质清洗 ①强力清洗：使用≥18MΩ ﹒cm 的纯水清洗孔内部加工污染。 ②一次化学清洗：选择性使用有机溶剂丙酮或异丙醇清洗。 ③一次纯水冲洗：使用纯水冲洗。 ④二次化学清洗：使用 10%浓度的氢氟酸、20%浓度的硝酸、35%浓度的过氧化氢与纯水配比后混合溶液清洗。 ⑤CDA+Di 净化：使用 N2 吹扫和二次纯水冲洗。 ⑥抛光：人工使用 400~3000#的3M 抛光垫对半导体设备部件进行表面清洁擦拭和手动抛光。 ⑦三次化学清洗：使用20%浓度的硝酸清洗。 ⑧三次纯水冲洗：使用纯水冲洗。 ⑨超声波清洗：冲洗后的半导体设备部件最后浸入纯水中，采用超声波进一步清洗，不符合要求的重返清洗工序。 （2）陶瓷、石英材质： ①热浸冲洗：使用60℃温度的纯水浸泡冲洗孔内部加工污染。 ②一次化学清洗：常温使用60%浓度的氢氧化钾醇清洗。 ③一次纯水冲洗：设置 4~7kgf/m2 压力使用纯水冲洗。 ④抛光：人工使用 400~3000#的3M 抛光垫对半导体设备部件进行表面清洁擦拭和手动抛光。 ⑤二次化学清洗：根据工艺目的选择性使用 10%浓度的氢氟酸或 20%浓度的硝酸清洗。 ⑥CDA+Di 净化：使用 N2 吹扫和二次纯水冲洗。 ⑦烘干水分：针对陶瓷材质部件，使用电热熔炉进行烘干，控制温度 350 ~ 1200℃ , 保留时间 2hr。 ⑧超声波清洗：冲洗后的半导体设备部件最后浸入纯水中，采用超声波进一步清洗，不符合要求的重返清洗工序。 3 、喷金：在全密闭车间内全自动化进行大气等离子喷涂，于瞬时2万摄氏度高温下，金属颗粒液化后喷射附着至半导体部件上。 喷金后的部件再进行 N2 吹扫和纯水冲洗后，经电烘箱干燥水分，最终由员工肉眼检查产品表面凹痕、麻点、裂纹、污渍、划痕、侵蚀等；表面计数 0.3 微米，数量 3 个以下合格。检查后合格品入库，不合格品返工清洗工序。 | 实际建设情况：主要工艺步骤简介：项目生产可按主要元件材质分为金属材质，陶瓷和石英材质共两条生产线。项目生产主要分为机械加工、化学物质清洗和喷金三道工段。 1 、机械加工：根据建设单位提供资料，项目按照客户要求，将少量半导体设备部件进行圆形与平面裁剪修整后再进行清洗，该部分修整量约占总量的0.8% 。该工序会产生边角料固废。 2 、清洗：半自动化操作，人工将半导体部件放置在清洗设备入口，再通过机械臂拿取移动，沉浸入洗槽内。 （1）金属材质清洗 ①强力清洗：使用≥18MΩ ﹒cm 的纯水清洗孔内部加工污染。 ②一次化学清洗：选择性使用有机溶剂丙酮或异丙醇清洗。 ③一次纯水冲洗：使用纯水冲洗。 ④二次化学清洗：使用 10%浓度的氢氟酸、20%浓度的硝酸、35%浓度的过氧化氢与纯水配比后混合溶液清洗。 ⑤CDA+Di 净化：使用 N2 吹扫和二次纯水冲洗。 ⑥抛光：人工使用 400~3000#的3M 抛光垫对半导体设备部件进行表面清洁擦拭和手动抛光。 ⑦三次化学清洗：使用20%浓度的硝酸清洗。 ⑧三次纯水冲洗：使用纯水冲洗。 ⑨超声波清洗：冲洗后的半导体设备部件最后浸入纯水中，采用超声波进一步清洗，不符合要求的重返清洗工序。 （2）陶瓷、石英材质： ①热浸冲洗：使用60℃温度的纯水浸泡冲洗孔内部加工污染。 ②一次化学清洗：常温使用60%浓度的氢氧化钾醇清洗。 ③一次纯水冲洗：设置 4~7kgf/m2 压力使用纯水冲洗。 ④抛光：人工使用 400~3000#的3M 抛光垫对半导体设备部件进行表面清洁擦拭和手动抛光。 ⑤二次化学清洗：根据工艺目的选择性使用 10%浓度的氢氟酸或 20%浓度的硝酸清洗。 ⑥CDA+Di 净化：使用 N2 吹扫和二次纯水冲洗。 ⑦烘干水分：针对陶瓷材质部件，使用电热熔炉进行烘干，控制温度 350 ~ 1200℃ , 保留时间 2hr。 ⑧超声波清洗：冲洗后的半导体设备部件最后浸入纯水中，采用超声波进一步清洗，不符合要求的重返清洗工序。 3 、喷金：在全密闭车间内全自动化进行大气等离子喷涂，于瞬时2万摄氏度高温下，金属颗粒液化后喷射附着至半导体部件上。 喷金后的部件再进行 N2 吹扫和纯水冲洗后，经电烘箱干燥水分，最终由员工肉眼检查产品表面凹痕、麻点、裂纹、污渍、划痕、侵蚀等；表面计数 0.3 微米，数量 3 个以下合格。检查后合格品入库，不合格品返工清洗工序。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 碱液喷淋塔、水喷淋+除雾干燥+二级活性炭、布袋除尘器、污水处理站、危废暂存间、垃圾桶 | 实际建设情况：碱液喷淋塔、干式过滤+沸石固定床吸附浓缩-脱附+催化燃烧、布袋除尘器、污水处理站、危废暂存间、垃圾桶 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 1.4582 | 0 | 0 | 0 | 1.458 | 1.458 | |
| 0 | 0.16 | 0 | 0 | 0 | 0.16 | 0.16 | |
| 0 | 0.0109 | 0 | 0 | 0 | 0.011 | 0.011 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0684 | 0 | 0 | 0 | 0.068 | 0.068 | / |
| 0 | 0.0156 | 0 | 0 | 0 | 0.016 | 0.016 | / |
| 0 | 0.1008 | 0 | 0 | 0 | 0.101 | 0.101 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 污水处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表 1 间接排放标准；《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表 4 三级标准 | 污水处理站 | 经检测：在验收监测的工况条件下，项目1#（废水排口)所监测的项目中，pH最大值为8.8；SS、COD 、动植物油类、NH3-N、五日生化需氧量、总氮、氟化物最大值分别为19mg/L、11mg/L、2.16mg/L、0.746mg/L、3.4mg/L、42.6mg/L、0.23mg/L均达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表 1 间接排放标准。NH3-N值低于城镇污水管网纳管标准45mg/L。动植物油低于《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表 4 三级标准要求。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 干式过滤+沸石固定床吸附浓缩-脱附+催化燃烧、碱液喷淋塔、布袋除尘器 | 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中有组织排放浓度限值；《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放浓度限值；《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）中表 A.1 规定的限值 | 干式过滤+沸石固定床吸附浓缩-脱附+催化燃烧、碱液喷淋塔、布袋除尘器 | 在验收监测的工况条件下，项目有组织废气1#(DA001废气排气筒）氟化物排放最大浓度值为1.53 mg/m3排放速率最大值为0.029kg/h符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中有组织排放浓度限值。氮氧化物排放最大浓度值为3L mg/m3排放速率低于0.057kg/h符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中有组织排放浓度限值要求。项目有组织废气2#(DA002废气排气筒）非甲烷总烃排放最大浓度值为2.60 mg/m3排放速率最大值为0.084kg/h符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中有组织排放浓度限值。项目有组织废气3#(DA003废气排气筒）颗粒物排放最大浓度值为1.6 mg/m3排放速率最大值为0.013kg/h符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中有组织排放浓度限值。经检测：在验收监测的工况条件下，项目无组织废气总悬浮颗粒物浓度排放最大浓度值为0.328 mg/m3，符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放浓度限值。企业厂区内非甲烷总烃无组织排放监控点浓度最大浓度值为1.55mg/m3符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）中表 A.1 规定的限值。厂房外非甲烷总烃浓度排放最大浓度值为1.28mg/m3。符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）特别排放限值。项目无组织废气氮氧化物浓度排放最大浓度值为0.048mg/m3，符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放浓度限值。项目无组织废气氟化物浓度排放最大浓度值为0.0040mg/m3，符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放浓度限值。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 合理布局，厂房隔声，选用低噪声设备，高噪声设备设置消声器及基础减振措施，加强设备维护和保养 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2 类标准 | 合理布局，厂房隔声，选用低噪声设备，高噪声设备设置消声器及基础减振措施，加强设备维护和保养 | 经检测：在验收监测的工况条件下，项目厂界东侧外1m处、厂界南外 1m 处、厂界西外 1m 处、厂界北外 1m 处噪声昼间监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准限值要求。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 严格落实固体废弃物污染防治措施。按“减量化、**化、无害化”的处置原则落实各类固体废物的分类收集、处置和综合利用措施。生活垃圾交由环卫部门统一清运处置； 废反渗透膜、废离子交换树脂由原厂家回收，废弃包装、废金属粉末、除尘灰、废抛光垫外售综合利用，物化污泥和生化污 泥交污泥处置单位处理；酸、碱、有机溶剂的废包装物、废酸、 废碱、废有机溶剂、废高效空气过滤器、废活性炭、废抹布及手套等危险废物委托有资质单位处理；含氟污泥、含氢氧化钾污泥委托有资质单位进行危废鉴定，鉴定前按照危废处置，鉴定后按要求规范处置。 | 严格落实固体废弃物污染防治措施。按“减量化、**化、无害化”的处置原则落实各类固体废物的分类收集、处置和综合利用措施。生活垃圾交由环卫部门统一清运处置； 废反渗透膜、废离子交换树脂由原厂家回收，废弃包装、废金属粉末、除尘灰、废抛光垫外售综合利用，物化污泥和生化污 泥交污泥处置单位处理；酸、碱、有机溶剂的废包装物、废酸、 废碱、废有机溶剂、废高效空气过滤器、废活性炭、废抹布及手套等危险废物委托有资质单位处理；含氟污泥、含氢氧化钾污泥委托有资质单位进行危废鉴定，鉴定前按照危废处置，鉴定后按要求规范处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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