全智能双靶高真空磁控溅射仪

发布时间: 2026年06月30日
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****研究所(全智能双靶高真空磁控溅射仪)竞价项目(项目编号:****)

竞价公告

项目编号 ****
项目名称 全智能双靶高真空磁控溅射仪
预算金额(人民币) 351800元
签约时间 成交公告发布后7个自然日内签订合同 到货时间 合同签署后30个自然日到货
联系人 樊亮 联系方式 175****7912
邮箱 fanl@qdio.****.cn
售后服务网点 不要求当地有售后服务网点
销售资质需求 不需要
维保质保(加盖公章) 不需要
商品详情
仪器设备名称 参考品牌 规格/型号 包装(单位) 数量
全智能双靶高真空磁控溅射仪 ****公司 CIS400TDS 1
技术指标 1、外形尺寸(主机) 424(L)×345(D)×420(H) 2、输入电源 220V/50Hz 1000W 3、溅射靶头 1:直流磁控溅射,可用靶材,所有金属靶材 4、溅射靶头 2:射频磁控溅射,可用靶材,无机非金属靶材 5、真空系统:进口涡轮分子泵+旋片式真空泵 6、抽速:90L/s + 1.1L/s 7、真空测量:复合式真空规 8、量程范围:1E-3 ~ 1E5Pa 9、可视化、可拆卸、可清洗真空室:φ 200×130mm 高硼硅玻璃,真空室内径不小于200mm,高度不低于125mm,可拿掉真空室直接清洗底部污染物; 10、抽气节拍:10 分钟(≤5E-3Pa),10分钟内优于5e-3Pa,具备电流保护和真空保护功能 11、样品台尺寸:φ 125mm 12、具备可旋转样品台,转速可调,最高转速不小于20转/分; 13、样品台切换:自动控制、自动旋转 14、溅射靶材尺寸:φ 57mm(厚度 0.1-2mm) 15、*操作界面:7 英寸 TFT 触摸式液晶屏,可实时显示靶材使用时间、设备工作时间和镀膜厚度;可用实时曲线显示溅射电流和真空度 16、操作语言:中文(可选其它语言) 17、冷水机:小型台式制冷机 18、冷水机功率:200W 19、预溅射挡板:标配全自动控制预溅射挡板,转动角度可系统设置调节,同时配置靶头屏蔽罩确保镀膜纯度,减少污染。 20、安装环境:220V/10A 三孔插座一个、纯度 4N 及以上的高纯氩气(出口压力 0.12MPa) 21、*内置不少于20种靶材溅射参数,包括金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等常用靶材和ITO、AZO、PZT、PVDF等非金
配置清单 序号 名称 型号 数量 1 合格证 CIS400TD 1 2 说明书 CIS400TD 1 3 主机 CIS400TD 1 4 真空室 ~φ200×130mm 1 5 电源线 1.5米 1 6 内六角扳手 4/8 mm 2 7 套筒扳手 M5外六方用 1 8 备用保险管 10A 1 9 卡箍及支架 K16 1 10 真空泵 VRD-8 1 11 波纹管 KF16/25-1500mm 1 12 射频电源 - 1 13 DB9通讯线 双侧母头 1 14 冷水机 - 1 15 小车 - 1 16 Φ10 PU管 20cm 1 17 Φ8 PU管 4米 1 18 Φ4 PU管 5米 1 19 快插接头 8转4 1 20 快插接头 10转8 2 21 快插接头 4转4 1 22 真空脂 7501 1 23 无尘布 - 10 24 橡胶手套 - 5 25 钢丝球 - 2 26 油雾过滤器 KF25 1 28 膜厚仪 / 1 29 Au靶材 φ57×0.12mm 1 30 Pt靶材 φ57×0.12mm 1 31 晶振片 6MHz 1盒(10片)
竞价技术指标文件

投标说明

一、投标文件组成

投标文件须包括以下内容,并制作成一个word或pdf文档(要求编写目录和页码)上传:

1、开标一览表加急标书代写

2、投标货物数量、价格表

3、技术商务规格偏离表

4、投标人在过去2年内完成和现在正在履行的合同情况

5、招标文件要求的其他说明和资料

6、代理商须提供产品制造商总代理证书或者针对本项目的合法授权书

7、法人代表授权书

8、投标人基本情况表、营业执照等相关文件

9、投标产品符合国家规范及行业规定的相关证明文件

10、资信等级证书

11、投标人廉政承诺书

12、其他证明企业实力的证书、文件等

13、如中标产品为国产产品,中标人即为国内合同卖方,如中标产品为进口产品,****公司的,投标人必须在投标文件中指明外贸合同卖方(原则上应为:产品原厂商或产品****公司);否则,该投标文件按无效投标认定。

二、报价及付款方式说明

1、本项目允许采购进口产品,进口产品与服务报CIP指定到货港美元、欧元、英镑、日元或人民币(不含关税、增值税)等,外贸合同的签约币种须与投标报价币种一致。

2、国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税及其他税费;

3、上述价格的构成须按在分项报表中格式要求详细列出;

4、付款方式:对于进口商品,开箱验收后凭用户签发的官方开箱合格证明电汇支付80%货款,技术验收合格后凭用户签发的官**本验收合格证书和正本商业发票电汇支付剩余20%货款。经用户和供货商协商采用其他支付方式、支付比例的,需报资产处审批通过后方可执行。

三、竞价流程

供应商上传竞价投标文件后,等待系统开标(此项目投标截止时间为 2026-07-03T11:21:33 )。标书解密后由用户按照低价优先原则确定中标供应商,并在系统首页公示。公示期满后完成竞价。如有疑问请联系竞价系统管理员加急标书代写

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2026-06-30
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