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上海晶盟硅材料有限公司12英寸P型外延工艺研发及特色功率器件外延产品产能提升项目

审批

上海-上海-青浦区

发布时间： 2026年06月30日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********238065L	陈建纲
周敏	市区
市区北青公路8228号二区48号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****12英寸P型外延工艺研发及特色功率器件外延产品产能提升项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	市区北青公路8228号二区48号
经度:121.**2364 纬度: 31.**32130	****环境局
	2023-10-10
青环保许管〔2023〕97号	913********238065L002W
2026-04-02	18537.35
480	****
913********238065L	****
913********238065L	******公司
****0112MA1GC88YXW	2026-04-02
2026-04-03	2026-05-28
2026-05-28	2026-06-30
	https://e2.****.cn:8081/qygkweb/jsp/view/hjxxgk/jsxmhp_index.jsp

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

扩建	扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增产12英寸硅外延片21.6万片/年	新增产12英寸硅外延片21.6万片/年
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

衬底抛光片、拆包装、外延生长、阻值检测前处理清洗、R T检测、缺陷放大检测、目检、分选、最终清洗、表面检测、包装、出货	衬底抛光片、拆包装、外延生长、阻值检测前处理清洗、R T检测、缺陷放大检测、目检、分选、最终清洗、表面检测、包装、出货
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一、废气：新增的3台外延炉（2台双腔设备、1台四腔设备，其产生的外延生长废气经外延炉密闭收集后采用POU废气喷淋装置处理后，经11根25m高的排气筒排放（P136-146#排气筒，真空泵抽气量50m3/h）。根据设计方案，新增的11根排气筒通过管道连通，每根排气筒的废气排放量均相同。P67-71#、P95-97、P122#排气筒主要排放特气柜废气，且相互连通，为防止排气筒内气体密度过高引起爆炸，本项目新增2根25米高的排气筒以及2套POU废气喷淋装置（P147~P148#，真空泵抽气量50m3/h）用于排放特气柜废气，与P67-71#、P95-97#、P122#排气筒通过管道连通。本项目新增1套HCl钢瓶柜，该特气柜废气经特气柜密闭收集，经现有POU废气喷淋装置处理后，经11根25m高的排气筒排放（P67-71#、P95-97#、P122#、P147~P148#（新增），真空泵抽气量50m3/h）。本项目产生的外延炉石英零组件清洗废气、阻值检测前处理清洗废气、最终清洗废气、实验检测废气，分别密闭收集后，采用3套AE喷淋塔（二级淋洗塔）处理后，经2根25m高排气筒排放（A7-8#排气筒，风量均为24000 m3/h）和1根15m高排气筒排放（A9#排气筒，风量为24000 m3/h）。根据企业实际情况，A7#~A9#排气筒通过管道连通，每根排气筒的废气排放量均相同。新增的POU废水除渣废气经池体密闭收集后，采用C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。新增的硫酸储罐呼吸废气经呼吸阀排气管道收集后经C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。二、废水：含氨清洗废水经厂区内现有的除氨氮系统（催化分解+还原+混凝+絮凝+气浮，处理能力105t/d**处理站。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有和本次新增的POU回收水系统（酸碱中和，处理能力共计为2740t/d）。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有的气浮除渣系统（气浮，处理能力1800t/d）处理后，处理站或POU回收水系统。部分清洗废水进入厂区内现有的清洗机回收水系统（过滤+酸碱中和，处理能力480t/d）后，部分回用于POU喷淋塔系统，剩余部分用于冷却塔系统。本项目产生的POU喷淋塔废水、AE喷淋塔废水、冷却系统废水、除氨氮系统排水、设备保养废水、C1#喷淋塔废水进入**处理站（酸碱中和，处理能力1000t/d）进行处理。三、固废：依托9幢厂务动能机房一层内现有的6间危废暂存间，面积约80.24m2。依托2幢现有的1个高浓度酸液收集池（30m3）。依托9幢厂务动能机房一层现有的1间一般工业固废暂存间，面积约76.77m2。四、噪声：采取低噪声设备、建筑隔声、减振垫等降噪措施进行降噪。	一、废气：新增的3台外延炉（2台双腔设备、1台四腔设备，其产生的外延生长废气经外延炉密闭收集后采用POU废气喷淋装置处理后，经12根25m高的排气筒排放（P136-146#、P149#排气筒，真空泵抽气量50m3/h）。根据设计方案，新增的12根排气筒通过管道连通，每根排气筒的废气排放量均相同。 P67-71#、P95-97、P122#排气筒主要排放特气柜废气，且相互连通，为防止排气筒内气体密度过高引起爆炸，本项目新增2根25米高的排气筒以及2套POU废气喷淋装置（P147~P148#，真空泵抽气量50m3/h）用于排放特气柜废气，与P67-71#、P95-97#、P122#排气筒通过管道连通。本项目新增1套HCl钢瓶柜，该特气柜废气经特气柜密闭收集，经现有POU废气喷淋装置处理后，经11根25m高的排气筒排放（P67-71#、P95-97#、P122#、P147~P148#（新增），真空泵抽气量50m3/h）。本项目产生的外延炉石英零组件清洗废气、阻值检测前处理清洗废气、最终清洗废气、实验检测废气，分别密闭收集后，采用4套AE喷淋塔（二级淋洗塔）处理后，经2根28m高排气筒排放（A7-8#排气筒，风量均为24000 m3/h）和2根15m高排气筒排放（A9-10#排气筒，风量均为24000 m3/h）。根据企业实际情况，A7#~A10#排气筒通过管道连通，每根排气筒的废气排放量均相同。新增的POU废水除渣废气经池体密闭收集后，采用C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。新增的硫酸储罐呼吸废气经呼吸阀排气管道收集后经C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。二、废水：含氨清洗废水经厂区内现有的除氨氮系统（催化分解+还原+混凝+絮凝+气浮，处理能力105t/d**处理站。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有和本次新增的POU回收水系统（酸碱中和，处理能力共计为2740t/d）。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有的气浮除渣系统（气浮，处理能力1800t/d）处理后，处理站或POU回收水系统。部分清洗废水进入厂区内现有的清洗机回收水系统（过滤+酸碱中和，处理能力480t/d）后，部分回用于POU喷淋塔系统，剩余部分用于冷却塔系统。本项目产生的POU喷淋塔废水、AE喷淋塔废水、冷却系统废水、除氨氮系统排水、设备保养废水、C1#喷淋塔废水进入处理站（酸碱中和，处理能力1000t/d）进行处理。三、固废：依托9幢厂务动能机房一层内现有的1**实验室废液间），面积约8.64m2。依托2幢现有的1个高浓度酸液收集池（30m3）。依托9幢厂务动能机房一层现有的1间一般工业固废暂存间，面积约76.77m2。四、噪声：采取低噪声设备、建筑隔声、减振垫等降噪措施进行降噪。
一、废气：1台双腔设备（AMAT）因增加1个泄压管路排气，用以兼顾机台泄压排空、维护通气、异常泄压的废气收集，故新增1根P149#排气筒和1套POU废气喷淋装置；清洗废气减少，实验检测废气增加，新增1根A10#排气筒，A7-8#排气筒高度由25m调整为28m，其余无变化。二、废水：无变化。三、固废：5个危废暂存间变更为4个回收空桶间（面积合计61.84m2）和1个材料间（原废灯管间，面积9.76m2），委托有危废处理资质单位处置的废化学品包装桶暂存于现有的1****实验室废液间）。危废新增检测废液。一般工业固废新增废LED灯管。其余无变化。四、噪声：无变化。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

五、环境风险：依托现有雨水截止系统、事故池（840m3）、紧急排气系统，危废仓库、危险品仓库、生产车间地面已使用环氧铺设，新增液态原料及液态危险废物下设防漏托盘。	五、环境风险：依托现有雨水截止系统、事故池（840m3）、紧急排气系统，危废仓库、危险品仓库、生产车间地面已使用环氧铺设，新增液态原料及液态危险废物下设防漏托盘。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	3.7272	0	0
0	0	92.018	0	0
0	0	10.474	0	0
0	0	0.65	0	0
0	0	16.105	0	0
0	0	0	0	0	/
0	0	0.0144	0	0	/
0	0	0.6818	0	0	/
0	0	0.0122	0	0	/
0.3047	0.0107	0.3611	0.315	0.011	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

废水处理站

《电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)

含氨清洗废水经厂区内现有的除氨氮系统（催化分解+还原+混凝+絮凝+气浮，处理能力105t/d****处理站。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有和本次新增的POU回收水系统（酸碱中和，处理能力共计为2740t/d）。部分清洗废水、纯水制备再生水、纯水制备中水、洗手废水、纯水制备RO水、清洗机回收水系统排水进入厂区内现有的气浮除渣系统（气浮，处理能力1800t/d）处理后，****处理站或POU回收水系统。部分清洗废水进入厂区内现有的清洗机回收水系统（过滤+酸碱中和，处理能力480t/d）后，部分回用于POU喷淋塔系统，剩余部分用于冷却塔系统。本项目产生的POU喷淋塔废水、AE喷淋塔废水、冷却系统废水、除氨氮系统排水、设备保养废水、C1#喷淋塔废水进入****处理站（酸碱中和，处理能力1000t/d）进行处理，后经污水总****处理厂；生活污水经污水总****处理厂。

******公司于2026年4月14日至15日进行废水现场验收监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	POU废气喷淋装置	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）	本项目新增3台外延炉（2台双腔设备、1台四腔设备），其产生的外延生长废气经外延炉密闭收集后采用POU废气喷淋装置处理后，经12根25m高的排气筒排放（P136-146#、P149#排气筒，真空泵抽气量50m3/h），新增的12根排气筒通过管道连通。本项目新增1套HCl钢瓶柜，该特气柜废气经特气柜密闭收集，经现有POU废气喷淋装置处理后，经11根25m高的排气筒排放（P67-71#、P95-97#、P122#、P147~P148#（新增），真空泵抽气量50m3/h）。	******公司于2026年4月14日至17日进行有组织废气现场验收监测
2	AE喷淋塔（二级淋洗塔）	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）	本项目产生的外延炉石英零组件清洗废气、阻值检测前处理清洗废气、最终清洗废气、实验检测废气，分别密闭收集后，采用4套AE喷淋塔（二级淋洗塔）处理后，经2根28m高排气筒排放（A7-8#排气筒，风量均为24000 m3/h）和2根15m高排气筒排放（A9-10#排气筒，风量均为24000 m3/h），A7#~A10#排气筒通过管道连通。	******公司于2026年4月14日至17日进行有组织废气现场验收监测
3	C1#废气喷淋装置	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）	本项目新增的POU废水除渣废气经池体密闭收集后，采用C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。新增的硫酸储罐呼吸废气经呼吸阀排气管道收集后经C1#废气喷淋装置处理后，经1根15m高的排气筒排放（C1#排气筒，风机风量9000m3/h）。	******公司于2026年4月14日至17日进行有组织废气现场验收监测
4	/	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）	严格控制废气无组织排放	******公司于2026年4月14日至15日进行无组织废气现场验收监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)

各声源采取相应的治理措施，即：（1）合理设计与布局，噪声源相对集中，室外声源远离厂界布置；（2）选购低噪声设备，从源头降低设备噪声，重视日常维护、保养工作；（3）室内声源通过建筑隔声：生产设备均设置在厂房内；对于风机、泵等辅助设备均设置在独立机房内；POU喷淋塔在厂房内的POU平台；（4）对于高噪声的室外设备采取相应的减振降噪措施：废气处理风机的进出口设置柔性连接。

******公司于2026年4月14日至15日进行噪声现场验收监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目固体废物应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与本市有关规定集中收集、规范贮存、妥善处置。一般工业固废贮存场所设置符合防渗漏、防雨淋、防扬尘要求；危险废物贮存场所设置应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，危险废物委托相关持危险废物经营许可证单位处置。

废包装材料、废树脂、废反渗透膜、污泥、废活性炭、废LED灯管为一般工业固废，其中废包装材料、废LED灯管委托****转移、********公司处置，废树脂、废反渗透膜、废活性炭、污泥委托**桑丰****公司转移、********公司处置；清洗废液、R T检测废液、缺陷放大检测废液、检测废液、清洗杂物和废石英砂、废化学品包装桶等为危废，委托****公司处置，并已制定危废管理计划，取得备案表。本项目产生的固体废物可以做到100%处理处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目应按《报告表》意见加强环境管理，编制《突发环境事件应急预案》并备案，做好土壤和地下水污染防治，落实各项风险防范措施，确保环境安全；开展自行监测，制定操作规程，做好环境管理台账，确保污染治理设施正常运行，污染物稳定达标排放。

厂区内设置雨水井并配套自动泵，事故池处设有切换阀。事故状态下，关闭雨水泵，事故应急池处切换阀打开，使事故水流向事故应急池，从而确保污染物不随雨水排放进入周边水体；在东侧设置了1个容积为840m3的事故池；生产车间、厂房均设置环氧地坪；甲类化学品仓库紧急排气措施（1#排气筒）；7幢特气供应房设紧急排气措施（A4#排气筒，风量12000m3/h，A4#排气筒也为清洗废气和实验检测废气的排气筒）；9 幢厂务动能机房设置1根20m高应急排气筒。并已更新突发环境事件应****生态环境局备案（备案编号：02-常-310118-2026-011-H）。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程