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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0504MB1F3496XE | 建设单位法人:任廷超 |
| 谭子岳 | 建设单位所在行政区划:******区 |
| **省**市**区福滨街1号(**区数字经济产业园1号楼) |
| ****惯性MEMS科研及生产条件建设 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:081- | 行业类别(国民经济代码):C3983-C3983-敏感元件及传感器制造 |
| 建设地点: | ******区 ******区 |
| 经度:118.608889 纬度: 25.006111 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-10-24 |
| 泉洛环评〔2024〕表40号 | 本工程排污许可证编号:****0504MB1F3496XE001W |
| 2025-04-27 | 项目实际总投资(万元):11400 |
| 88 | 运营单位名称:**** |
| ****0504MB1F3496XE | 验收监测(调查)报告编制机构名称:****0504MB1F3496XE |
| **** | 验收监测单位:******公司 |
| ****0503MA31NLMJ1H | 竣工时间:2025-04-30 |
| 2025-12-15 | 调试结束时间:2026-07-15 |
| 2026-06-01 | 验收报告公开结束时间:2026-06-29 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.org/yanshou/46984.html |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 年产MEMS惯性器件100000轴、导航计算机1000套、导航组合体1000套、MEMS IMU10000套、光纤IMU800套、消防综合定位系统240套、个人导航系统20000套 | 实际建设情况:年产MEMS惯性器件100000轴、导航计算机1000套、导航组合体1000套、MEMS IMU10000套 |
| 本次验收为阶段性验收,晶圆划片、芯片贴装(倒贴)等涉及产生废水的相关工序及其生产设备尚未安装,同时取消生产消防综合定位系统、光纤IMU及个人导航系统,对照《污染影响类建设项目重大变动清单(试行)》,不属于重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| MEMS封测生产线、****检测中心 | 实际建设情况:MEMS封测生产线、****检测中心,本阶段的MEMS封测生产线不包括晶圆划片、芯片贴装(倒装)、回流焊、清洗、底部填充、塑封压模、模后固化、植球、塑封切割等产生废水的工序 |
| 本次验收为阶段性验收,晶圆划片、芯片贴装(倒贴)等涉及产生废水的相关工序及其生产设备尚未安装,相关生产工序未开始。本次验收为阶段性验收,工艺均未超过环评范围,对照《污染影响类建设项目重大变动清单(试行)》,不属于重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| 废水:生产废水经1套废水处理设施(拟设计“调节+沉淀+A/O+MBR”处理工艺,处理规模5t/h)处理后通过市政污水管网排****处理厂处理;生活污水经化粪池预处理后通过市政污水管网排****处理厂处理。 废气:MEMS封测产生的废气由集气管道收集后拟经“布袋除尘+二级活性炭吸附装置”处理后通过1根25m高排气筒DA001排放;激光打标工序产生的粉尘以无组织形式排放。 噪声:生产设施采取减振、消音措施,厂房隔音,加强设备的维护管理等。 固废:项目一般工业固废包括废反渗透膜、废划片膜、废金属丝、废塑封料、废锡球、污泥、废胶膜、除尘器收集的粉尘和废包装材料,收集后外售给相关企业回收处置、利用。危险废物包括清洗废液、报废品、废氟油、废活性炭、废绝缘胶、废底填胶、废锡膏和废助焊膏,分类收集后分区存于危废间内,并委托有资质单位定期转运处置。生活垃圾分类收集后由当地环卫部门统一清运。 | 实际建设情况:废水:生活污水经化粪池预处理后通过市政污水管网排****处理厂处理。 废气:MEMS封测产生的废气由集气管道收集后拟经“布袋除尘+二级活性炭吸附装置”处理后通过1根25m高排气筒DA001排放;激光打标工序产生的粉尘由配套的除尘机处理后在车间内以无组织形式排放。 噪声:生产设施采取减振、消音措施,厂房隔音,加强设备的维护管理等。 固废:本次验收为阶段性验收,项目一般工业固废主要为废金属丝、除尘器收集的粉尘和废包装材料,收集后外售给相关企业回收处置。危险废物主要为废氟油、废活性炭和废绝缘胶,分类收集后分区存于危废间内,并委托********公司定期转运处置。生活垃圾分类收集后由当地环卫部门统一清运。 |
| 本次验收为阶段性验收,本阶段未引进晶圆划片、芯片倒装贴装等产生废水的工序,无生产废水产生;激光打标粉尘新增一套除尘机,激光打标粉尘由原来的直接排放变更为经除尘机处理后在车间内以无组织形式排放,属于污染防治措施强化,对照《污染影响类建设项目重大变动清单(试行)》,不属于重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| 无 | 实际建设情况:无 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0.048 | 0 | 0 | 0 | 0.048 | 0.048 | |
| 0 | 0.024 | 0 | 0 | 0 | 0.024 | 0.024 | |
| 0 | 0.0024 | 0 | 0 | 0 | 0.002 | 0.002 | |
| 0 | 0.0002 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0.0072 | 0 | 0 | 0 | 0.007 | 0.007 | |
| 0 | 798.2 | 0 | 0 | 0 | 798.2 | 798.2 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0581 | 0 | 0 | 0 | 0.058 | 0.058 | / |
| 1 | 生活污水处理设施 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1966)表4三级标准(氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中B等级标准) | 项目本阶段验收范围内无生产废水产生,外排废水仅职工生活污水,生活污水经化粪池处理达《污水综合排放标准》(GB8978-1966)表4三级标准(氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中B等级标准)后,通过市政管网排****处理厂统一处理 | 无 |
| 1 | MEMS封测生产线废气处理设施 | 《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1、《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2 | 项目车间密闭,车间保持微负压状态,MEMS封测生产线产生的废气由集气管道收集后经“布袋除尘+二级活性炭吸附装置”处理后通过1根25m高排气筒DA001排放,激光打标工序产生的粉尘由配套的除尘机处理后在车间内以无组织形式排放。 | 验收监测期间,项目有组织废气中非甲烷总烃平均排放浓度两天分别为4.01mg/m3、4.42mg/m3,平均排放速率两天分别为1.56×10-2kg/h、1.77×10-2kg/h,符合《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1电子产品制造排放限值(最高允许排放浓度80mg/m3,最高允许排放速率6.6kg/h);颗粒物平均排放浓度两天均低于检出限,符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2相关标准限值。项目厂界颗粒物最大排放浓度分别为0.239mg/m3、0.218mg/m3,符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值要求(颗粒物≤1.0mg/m3);厂界非甲烷总烃最大排放浓度分别为1.22mg/m3、1.21mg/m3,符合《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表2、表3中无组织排放监控浓度限值要求(厂界非甲烷总烃≤2.0mg/m3);厂区内非甲烷总烃1h平均浓度值分别为1.76mg/m3、1.36mg/m3,厂区内非甲烷总烃任意一次浓度值分别为2.08mg/m3、1.44mg/m3,符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中厂区内无组织排放监控浓度限值要求(厂区内非甲烷总烃1h平均浓度值≤10mg/m3、任意一次浓度值≤30mg/m3)。 |
| 1 | 隔声、减振等降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准 | 生产设施采取减振、消音措施,厂房隔音,加强设备的维护管理等 | 项目夜间不生产,验收监测期间,昼间厂界噪声值为56.3~59.0dB(A),符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准要求(昼间噪声值≤60dB(A))。 |
| 1 | 工业固体废物贮存、处置执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)相关要求;危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)相关要求,并委托有资质单位处置;生活垃圾处置执行《中华人民**国固体废物污染环境防治法》(2020年4月29日修订)相关规定。按“减量化、**化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、贮存、处置和综合利用措施。 | 本次验收为阶段性验收,项目一般工业固废主要为废金属丝、除尘器收集的粉尘和废包装材料,收集后外售给相关企业回收处置。危险废物主要为废氟油、废活性炭和废绝缘胶,分类收集后分区存于危废间内,并委托********公司定期转运处置。生活垃圾分类收集后由当地环卫部门统一清运。项目已按要求规范建设一般固废暂存场所(35m2)和危险废物暂存间(15m2),符合GB18599-2020《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》和GB18597-2023《危险废物贮存污染控制标准》的相关要求。 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 项目VOCs排放量为0.463吨/年。实行1.2倍削减替代,即0.5556吨/年,削减替代量来源于**区“十四五”减排项目。 | 验收阶段落实情况:根据验收监测结果核算,项目VOCs排放量为0.0581t/a,未超过环评批复核定的总量指标(0.463t/a)。 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |