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12吋单片晶背清洗机
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***********公司企业信息
****2026年9至11月政府采购意向-12吋单片晶背清洗机 详细情况
| 12吋单片晶背清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年9至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 12吋单片晶背清洗机 |
| 预算金额： | 2430.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
该设备用于晶圆背面的专项处理，核心用途包括背部氮化硅/氧化硅/非晶硅去除：精准剥离背面残留的SiN、SiO、a-Si等膜层，防止后续工艺中因膜层脱落导致的颗粒污染和器件失效；背部金属沾污清除：去除晶背因工艺环境引入的金属离子沾污，避免高温工艺中金属扩散至正面；背部颗粒与残留物清除：去除刻蚀后聚合物、光刻胶残留等有机和无机污染物，确保背面清洁度。
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| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-06-30
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