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五轴联扫控制软件 (XJD2026070100002) 采购公告
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五轴联扫控制软件 (****) 采购公告
发布时间：2026-07-01 11:46:20
| 五轴联扫控制软件 | 项目编号**** | |
| 2026-07-01 11:46:20 | 公告截止日期2026-07-07 12:00:00 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后5天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后5天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 五轴联扫软件 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 系统功能 序号 验收项目 验收标准（可量化检验指标） 1 模型导入 ①支持STP/STEP/STL等各种三维格式导入 2 光刻设置 ①激光功率0~200mW可调，步进≤0.2mW，功率稳定性≤±2%（1h） ②扫描速度0.1~100mm/s可调，步进≤0.1mm/s ③层间距0.05~0.7μm可调，步进≤0.01μm ④曝光时间1ms~1s可调 ⑤参数联动响应时间≤200ms 3 曲面自适应 ①自动调节Z向切片层厚范围0.03~5μm ②光学曲面区域自动加密至最小层厚 50nm，有效抑制阶梯效应 ③支持轮廓、实体、支撑分区独立切层，层间覆盖重合精度≤5%，分层策略与 XY 点阵密度、Z 轴压电运动、激光深度补偿实时联动 4 路径规划 ①采用三维体素离散化路径生成，仅扫描实体区域，优化后空行程缩短≥20% ②智能路径优化算法实现双摆扫描跳转延迟≤200μs，支持轮廓**度扫描和内部稀疏填充双模式 5 灰度光刻 ①实现16 位灰度剂量实时调控，激光功率调节响应时间≤5μs ②将三维形貌直接映射为连续灰度能量场，无需薄层细分即可实现镜面级曲面成型，切片层数减少≥90%，加工效率提升最高 60 倍 ③系统具备深度能量自动补偿功能，Z 向深度剂量补偿精度 ±1%，全深度聚合均匀，表面粗糙度Ra≤10nm 6 扫描模块 ①实现 XY 线性双摆随机点位闭环扫描，单点定位稳定时间≤200μs，点位重复定位精度≤150nm ②双摆系统位置与激光 AOM 同源锁相，触发时序抖动≤1μs**，仅在点位稳定驻留窗口输出飞秒激光，彻底消除扫描拖尾与光晕 ③可自由切换全域面扫与多 ROI 随机点扫模式，上千个离散目标点位自动排序跳转，无冗余等待 7 焦点操控 ①动态补偿响应时间≤200ms，补偿后核心区偏差≤±1μm ②可直接升级基于线扫描投影光刻的真正的动态焦点可变控制，连续无缝曝光 加工非周期、自由曲面或自适应结构（非MLA技术） 8 兼容性 ①开发框架已包含飞秒激光线扫描投影光刻应用程序，支持在原软件基础上直接升级线扫描投影系统，在接到客户升级要求后当天内完成系统升级；要求已有加工系统使用此线扫描光刻技术软件实际发表过文章。 9 便捷使用 要求软件系统具备五轴联扫功能，实现五维扫描光刻；具备成熟的；成熟的UI交互，实时监控与运维系统，硬件管理和参数调节功能。 |
| 按行业标准提供服务，质保期36个月。 |
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2026-07-01
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