开启全网商机
登录/注册
天津大学 - 竞价公告（CB100562026000324）
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-07-01 15:59:58 截止时间：2026-07-06 06:00:00加急标书代写
申购主题： 蒸发镀膜系统
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明： ****004586
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 蒸发镀膜系统 | 1.0/台（套） | 详见规格参数 | 详见规格参数 | 真空腔室 ： 304L不锈钢真空室，内部电抛光，真空室尺寸约600mm*600mm*650mm 真空系统：10寸气动插板阀，真空测量：一个进口全量程真空计（量程从大气到3E-9torr） 基片台水冷：设备配有特殊设计公自转工件盘，工件盘尺寸定制，一次性放置最大270*270mm方形样品一片（向下兼容多片小片）。高扭矩公自转电机和控制器，转速0~30RPM可调。样品片台可旋转，0～30转／分连续可调。 蒸发源及电源：配3组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构(最高温度1500度）；配备2.4KW蒸发电源1套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制。蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带数显。 配备3套有机蒸发束源炉，3套有机蒸发电源。有机蒸发源带温度显示功能，有机束源炉用日本导电温控仪。 膜厚控制系统：进口INFICON公司，型号：进口SQC-310配备2只水冷探头（进口）；显示控制精度0.01埃；膜厚仪可自动控制金属蒸发电源输出。 控制方式：西门子PLC+触摸屏手自动控制；可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出。 报警及保护：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 细节设计：机械泵前加装过滤网，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘。所有样品台、源挡板，样品台旋转均采用磁流体密封，保证系统长期稳定性。继电器，端子排、水管气管接头，电磁阀等小部件均采用优质正品 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
招标进度跟踪
2026-07-01
招标公告
天津大学 - 竞价公告（CB100562026000324）
当前信息
标书代写
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
