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高真空离子溅射镀膜仪采购结果公告
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***********公司企业信息
| 申购单主题： | 高真空离子溅射镀膜仪 | ||||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 高真空离子溅射镀膜仪 | Zenisage | ISC150TS | 1 | 国内含税价/人民币 | 无 | ||
| 规格 | "真空泵组 无油隔膜泵+涡轮分子泵 抽速 ＞0.7m3/h隔膜泵+60L/S 分子泵 极限真空 ＜ 1E-3Pa 工作气压 0.3-1Pa 真空规 皮拉尼真空计 气体控制 MFC气体质量流量控制器（50 SCCM Ar） 腔体 标配Φ150 *120mm耐划伤石英玻璃腔体 磁控溅射靶 靶材尺寸 Φ 50*0.1-2 mm （建议厚度≥0.2 mm），可溅射Au、Pt、Pd等 贵金属（通空气或Ar气）或Cr、W、C等常规材料（通Ar气） 溅射电源 恒功率磁控DC溅射电源 Max. 30W ，Max. 100 mA，0-800V 进气口 Φ8mm气管 操作方式 触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 重量 ~30Kg 尺寸 480mm宽*385mm深*447mm高 输入电源 100-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 输入功耗 ＜500 W" | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 199400 | 最低价原则 | |||||
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