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| 12寸匀胶机 | 美图 | 190000.00 | 190000.00 | 按行业标准提供服务 | (1)匀胶系统:匀胶腔、自动滴胶臂,压力罐、3种液体管路、去边针头;(2)主轴旋转转速:0-6000rpm /s;(3)转速波动精度:±1rpm;(4)时间设定:0-1000s;(5)自动摆臂摆动速度:0-60°/s;(6)出液速度:0~100%(压力罐供液);(7)管路数量:2路胶管,1路化学去边液体管路,1路背洗管路;(8)匀胶步数:10 steps;(9)配方存储:30 recipes;(10)匀胶均匀性:优于±2%;(11)真空吸附值:<-50kpa;(12)上下片方式:手动上下片;(13)晶片固定方式:真空吸附;(14)供胶系统:压力罐供胶;(15)具备背洗功能(压力罐);(16)工作平台:工作平台包括自动机械手模组、主轴旋转伺服电机、压力罐模组,真空泵等;(17)PLC 控制系统:PLC 控制系统具有简洁**的操作界面、配方存储功能等;(18)夹具:12寸晶圆;(19)含2、4、6、8、12寸吸盘; | 1.0台 | RC-300-P1 | 190000.00 | **** |