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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0307MA47NU999T | 建设单位法人:徐力 |
| 徐力 | 建设单位所在行政区划:**省**市**县 |
| 香鹿山镇航空路3号 |
| ****大尺寸半导体硅片生产项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
| 建设地点: | **省**市**县 航空路3号 |
| 经度:112.249444 纬度: 34.553333 | ****机关:****环境局**分局 |
| 环评批复时间: | 2024-01-31 |
| 宜环审〔2024〕4号 | 本工程排污许可证编号:****0307MA47NU999T001W |
| 2025-07-09 | 项目实际总投资(万元):20000 |
| 168 | 运营单位名称:**** |
| ****0307MA47NU999T | 验收监测(调查)报告编制机构名称:******公司 |
| ****0300MAD8L5DRXN | 验收监测单位:******公司 |
| ****0300MAE4188T13 | 竣工时间:2025-11-08 |
| 2025-11-25 | 调试结束时间:2025-11-27 |
| 2026-01-15 | 验收报告公开结束时间:2026-02-11 |
| 验收报告公开载体: | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=497634 |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 年产840万片研磨片,360万片硅抛光片(其中360万片研磨片为抛光片原材料,其余外售) | 实际建设情况:年产840万片研磨片,360万片硅抛光片(其中360万片研磨片为抛光片原材料,其余外售) |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 1.单晶拉制:装炉-加热-拉晶-冷却-取棒-切断-头尾料-取样快评估-混酸腐蚀-水洗-甩干-热处理-瓶测氧、碳-四探针检测-样块保存;2.切磨工序:晶棒-滚磨-粘棒-切片-脱胶-切片清洗-倒角-检测-清洗-硬激光标识磨片-磨片清洗-研磨片成品;3.腐蚀背封:研磨片-酸碱腐蚀-腐蚀后清洗-热处理-背软损伤-清洗-背封-清洗-ADE-腐蚀片;4.抛光:腐蚀片-边缘抛光-清洗-贴片前清洗-有蜡贴片/模板贴片-粗抛光-清洗-精抛光-去蜡清洗-预清洗-ADE检测-最终清洗-最终检验-包装-抛光片成品。 | 实际建设情况:1.单晶拉制:装炉-加热-拉晶-冷却-取棒-切断-头尾料-取样快评估-混酸腐蚀-水洗-甩干-热处理-瓶测氧、碳-四探针检测-样块保存;2.切磨工序:晶棒-滚磨-粘棒-切片-脱胶-切片清洗-倒角-检测-清洗-硬激光标识磨片-磨片清洗-研磨片成品;3.腐蚀背封:研磨片-酸碱腐蚀-腐蚀后清洗-热处理-ADE-清洗-腐蚀片;4.抛光:腐蚀片-边缘抛光-清洗-最终清洗-最终检验-包装-抛光片成品。 |
| 腐蚀背封工段中“背软损伤-清洗-背封”不再建设;抛光工段中“贴片前清洗-有蜡贴片/模板贴片-粗抛光-清洗-精抛光-去蜡清洗-预清洗-ADE”不再建设。产能不变 | 是否属于重大变动:|
| 废气处理: ①酸性废气:工位上密封通风柜顶部管道收集+二级碱液喷淋塔+15m排气筒(DA001);②碱性废气:工位上密封通风柜顶部管道收集+酸液喷淋塔+15m排气筒(DA002),③有机废气:粘胶工序上方设置集气罩+UV光氧+活性炭吸附装置+15m排气筒(DA003),④硅烷废气:硅烷燃烧塔+滤筒除尘器+15m排气筒(DA004),⑤食堂油烟:油烟净化器+高空排放 废水处理: ①生产废水:****处理站(含氟废水处理系统(处理能力4t/h)、研磨废水处理系统(处理能力15t/h)、酸碱废水处理系统(处理能力26t/h)),生产废水经处理后由市政污水****处理厂深度处理。②洁净排水(循环冷却系统排水、纯水制备浓盐水)由厂区总排口直接排入市政污水管网。③生活污水:食堂污水进行隔油处理后与其他生活污水一起进入化粪池处理(1个100m3),处理后由市政污水****处理厂深度处理。 | 实际建设情况:废气处理: ①酸性废气经收集后进入二级碱液喷淋塔;碱性废气经收集后进入酸液喷淋塔;最后通过1根15m排气筒(DA001)排放;②粘胶工序上方设置集气罩+两级活性炭吸附装置+15m排气筒(DA002);③食堂油烟:油烟净化器+高空排放 废水处理: ①生产废水:****处理站(含氟废水处理系统(处理能力4t/h)、研磨废水处理系统(处理能力15t/h)、酸碱废水处理系统(处理能力26t/h)),生产废水经处理后由市政污水****处理厂深度处理。②洁净排水(循环冷却系统排水)由厂区总排口直接排入市政污水管网;③生活污水:食堂污水进行隔油处理后与其他生活污水一起进入化粪池处理(1个100m3),处理后由市政污水****处理厂深度处理。 |
| 背封工序不再建设,不涉及硅烷废气;不再建设纯水设施,不涉及浓盐水。 | 是否属于重大变动:|
| 一般固废暂存间(20m2),危废暂存间(20m2) | 实际建设情况:一般固废暂存间(20m2),危废暂存间(20m2) |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 26.17 | 79.8048 | 0 | 0 | 26.17 | 26.17 | |
| 0 | 0.2151 | 4.951 | 0 | 0 | 0.215 | 0.215 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.1233 | 1 | 0 | 0 | 0.123 | 0.123 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0084 | 0.018 | 0 | 0 | 0.008 | 0.008 | / |
| 1 | 食堂污水进行隔油处理后与其他生活污水一起进入化粪池处理(1个100m3),污水处理站(含氟废水处理系统(处理能力4t/h)、研磨废水处理系统(处理能力15t/h)、酸碱废水处理系统(处理能力26t/h)) | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1****处理厂进水水质要求 | 污水处理站(含氟废水处理系统(处理能力4t/h)、研磨废水处理系统(处理能力15t/h)、酸碱废水处理系统(处理能力26t/h)) | 厂区排污口外排废水中pH测定值为7.6~8.3,其余各污染物浓度均值分别为COD169~ 182mg/L、SS 40~51mg/L、氨氮1.31~1.65mg/L、生化需氧量42.4~67.8mg/L、总磷0.23~0.35mg/L、总氮29.9~35.5mg/L、阴离子表面活性剂1.19~1.36mg/L、氟化物1.22~1.55mg/L、石油类0.07~0.17mg/L、动植物油类0.09~0.15mg/L |
| 1 | ①酸性废气:工位上密封通风柜顶部管道收集+二级碱液喷淋塔+15m排气筒(DA001);②碱性废气:工位上密封通风柜顶部管道收集+酸液喷淋塔+15m排气筒(DA002) | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2(排放速率严格50%执行)的要求 | 酸性废气经收集后进入二级碱液喷淋塔,碱性废气经收集后进入酸液喷淋塔,最后通过1根15m排气筒(DA001)排放 | 样块、头尾料酸洗、硅片酸腐蚀、腐蚀后清洗、边缘抛光清洗、最终清洗废气污染物经喷淋装置处理后排气筒出口中氟化物排放浓度值为0.19~0.27mg/m3,排放速率为1.65×10-3~2.30×10-3kg/h,氮氧化物排放浓度值为3~5mg/m3,排放速率为0.0256~0.0428kg/h,氯化氢未检出,满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2(排放速率严格50%执行)的要求;氨排放浓度值为0.69~0.95mg/m3,排放速率为5.81×10-3~8.09×10-3kg/h,满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2。 | |
| 2 | 粘胶工序上方设置集气罩+UV光氧+活性炭吸附装置+15m排气筒(DA003) | 满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2(排放速率严格50%执行),同时满足《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号)。 | 粘胶工序上方设置集气罩+两级活性炭吸附装置+15m排气筒(DA002) | 两级活性炭吸附装置配套排气筒出口中非甲烷总烃排放浓度为1.94~2.15mg/m3,排放速率为3.12×10-3~3.87×10-3kg/h, | |
| 3 | 静电式油烟净化器 | 《**省餐饮业油烟污染物排放标准》(DB 41/ 1604-2018)中小型标准 | 静电式油烟净化器废气 | 排气筒出口中油烟排放浓度值为0.4~0.6mg/m3,排放速率为5.76×10-4~8.52×10-4kg/h |
| 1 | 厂房隔声、距离衰减 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类 | 厂房隔声、距离衰减 | 验收监测期间,该项目东、西厂界昼间、夜间噪声测定值分别为54~55dB(A)、49dB(A) |
| 1 | 事故池100立方米 | 事故池100立方米 |
| / | 验收阶段落实情况:/ |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |