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压电/铁电薄膜沉积磁控溅射+磁控溅射+金属沉积系统评标结果公示公告(1)
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
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项目编号： ****
公告类型： 评标公示
截止时间： 2026-07-07 23:59:00
招标机构： ****
招标地区： **市
项目名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射+磁控溅射+金属沉积系统
招标项目编号：****
招标范围：1.1设备采购名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射，1套，只接受全新设备。 1.2设备用途：主要用于光电、传感和铁电存储领域，实现高质量压电铁电掺杂氮化铝薄膜和配套电极材料的制备。 1.3设备作业基本流程：①装片->②预处理->③生长->④取片->⑤测试。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2026-06-30 09:30
公示开始时间：2026-07-02 20:01
评标公示截止时间：2026-07-07 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：****
招标范围：1.1设备采购名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射，1套，只接受全新设备。 1.2设备用途：主要用于光电、传感和铁电存储领域，实现高质量压电铁电掺杂氮化铝薄膜和配套电极材料的制备。 1.3设备作业基本流程：①装片->②预处理->③生长->④取片->⑤测试。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2026-06-30 09:30
公示开始时间：2026-07-02 20:01
评标公示截止时间：2026-07-07 23:59
中标候选人名单：
| 1 | **** | Ulvac,Inc. | 日本 |
招标进度跟踪
2026-07-02
候选人公示
压电/铁电薄膜沉积磁控溅射+磁控溅射+金属沉积系统评标结果公示公告(1)
当前信息
2026-06-08
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