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原子层沉积（ALD）系统（XJ-WSBX-2600240）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州

发布时间： 2026年07月03日

标书代写官方

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

原子层沉积（ALD）系统	****
2026-07-03 15:34:59	2026-07-10 17:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后3个工作日内
￥459000.00




省市区塘路866号****和同苑6幢高二413
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

原子层沉积（ALD）系统

台

电工生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 459000.00

基板尺寸210*210mm；工艺温度最高200℃；源加热温度最高150℃；温控精度±1℃；真空度≤1Pa；沉积非均匀性≤±1%；真空检测：1×10-1——1×105Pa；前驱体源路数：3路。软件功能：1）控制系统采用 PLC+工控机+19 寸触摸屏方式实现，系统通过高速以太网进行通讯。2）采用 PLC 对设备进行实时控制，同时实现基于Windows 操作系统的人机界面互动，支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能；3）设备运行软件提供用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全；4）设备运行软件提供逻辑互锁功能，防止用户误操作，并弹出信息对话框进行提示；5）设备运行软件集**全及参数配置、IO互锁列表信息功能

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;