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中南大学 - 竞价公告（CB119422026001633）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-07-03 15:46:44 截止时间：2026-07-08 15:43:22标书代写
申购主题： 等离子磁控镀膜仪
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 等离子磁控镀膜仪 | 1.0/套 | **科晶 | VTC-2RF | 非标定制，负责实验室气路的连接和改造 选配： 1.真空泵抽真空接口为 KF25 接口，真空泵型号：VRD-16，抽气速率：4.4 L/S，电机功率：750 W，极限压强：5×10-1Pa（不带负载） 2.水冷设备：工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h，尺寸：55×28×43cm（长×宽×高），水箱容量：6L，水流速率：16L/min 基本参数： 1. 电源：AC 220V 50HZ， 2. 功率：＜1800W 3.射频电源：输入电源：220V 3A，输出功率：0-300W，输出频率：13.56 MHZ 4.冷却方式：设备内部的冷却方式为水冷 5.尺寸：444（长）*410（宽）*128（高） 6.磁控溅射头： 2 英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接 7.靶材尺寸要求： φ50*（0.1-5）mm 厚 8.2英寸磁控溅射头可承受最大射频功率：300W 9.非标定制高温加热台结构，溅射靶头到加热台距离可精确调节范围：10-100mm，并带有距离刻度显示。 样品台： 1.加热台可旋转，为了制膜更加均匀。 2.加热台尺寸：直径 50mm （最大可放置 2 英寸的基片） 3.旋转速度：2- 10 rpm（可调速） 4.加热台的长期使用温度 500℃ 5.控温精度： ±10℃ | 按行要求原厂工程师上门安装调试和测试。2、为了保证售后服务，投标方中标后需提供原厂售后服务承诺书原件，否则视同无效； 3、为保证使用要求，投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致 |
招标进度跟踪
2026-07-14
2026-07-03
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