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光量子超构表面微纳加工系统
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3100000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****2026年8月政府采购意向-光量子超构表面微纳加工系统 详细情况
| 光量子超构表面微纳加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 光量子超构表面微纳加工系统 |
| 预算金额： | 310.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他电工、电子生产设备
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| 采购需求概况 ： |
配置技术参数： 1) *腔体 ：铝制，无焊接。开腔式结构，方便放置碎片及不规则片。 2) *下电极 ：铝制，直径不小于240mm，配有4/8英寸石墨压环。 3) *基板冷却 ：冷却水+背氦冷却； 4） *带有独立的水冷机：控温范围-10℃至40℃，水冷机控温精度±0.1℃。 5) *射频功率 ：ICP不小于 600W, RF不小于300W。可工作在ICP模式下也可工作在RIE模式下。
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| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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