采购光子集成电路芯片流片加工服务一批

发布时间: 2026年07月06日
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****2026年7至12月政府采购意向-采购光子集成电路芯片流片加工服务一批 详细情况
采购光子集成电路芯片流片加工服务一批
项目所在采购意向: ****2026年7至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 采购光子集成电路芯片流片加工服务一批
预算金额: 195.000000万元(人民币)
采购品目:
C****0200物理学的研究和试验开发服务
采购需求概况 :
本次拟采购光子集成电路芯片流片加工服务,用于C波段及O波段光芯片器件的原型验证。加工服务需基于8英寸SOI晶圆,采用220 nm SOI与380 nm LPCVD SiN异质集成平台,工艺节点为90 nm,支持有源器件(含调制器、锗光电探测器)及“无源+加热器”两类工艺选项,提供多层金属互连(器件电极金属层、TiN加热器、Al Pad开窗)及多级注入层次,并包含锗外延层沉积工序。供应商需提供完整工艺加工服务,交付物包括流片完成后的8英寸晶圆(具体片数另行确定)、工艺控制监测数据及晶圆级测试结果。供应商须具备8英寸SOI光电子集成工艺能力,并提供符合行业标准的PDK及设计规则支持。版图设计需遵循供应商PDK规则,供应商应提供设计规则检查(DRC)服务。交付周期:自合同签订之日起180个日历日内完成流片加工并交付晶圆及测试数据。验收标准:交付晶圆无工艺缺陷,关键器件正常工作,测试数据完整可溯。供应商需配合采购方完成工艺兼容性确认,并承担因工艺不达标导致的重流片责任。具体事宜由成交供应商按采购方指定时间及安排执行。
预计采购时间: 2026-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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