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面向微纳装配的微测量系统
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****2026年8至10月政府采购意向-面向微纳装配的微测量系统 详细情况
| 面向微纳装配的微测量系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年8至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 面向微纳装配的微测量系统 |
| 预算金额： | 421.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0111自动成套控制系统
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| 采购需求概况 ： |
提供微纳尺度装配性能检测能力，提供纳米级表面形貌扫描与界面力学性能定量分析，实现精密表面改性以增强界面结合强度与稳定性，毫秒级解析动态装配过程以优化工艺参数。其中：成型模块：★光学精度：光学精度≤2μm；★复杂结构极限加工能力：最小圆锥尖端≤6μm，最小孔径≤10μm；★自动对焦系统：通过CCD进行自动对焦功能；#加工层厚：最小加工层厚≤5μm；#二维加工最小尺寸：二维加工最小线宽≤3μm ；#三维加工最小尺寸：三维加工最小特征尺寸≤10μm；#拼接误差:设备具备自动拼接打印功能，标准材料拼接误差≤5μm；高速采集模块：★采集速率 gt;6400fps(framepoint per second)；#成像分辨率：高于1024*1024；微观表征模块：#工作模式含：轻敲模式，接触模式，相位成像模式，横向力模式 ，磁场力显微镜，压电力显微镜，双频共振追踪压电力显微镜，矢量压电力显微镜，静电力显微镜，扫描开尔文显微镜，动态**态力曲线，力阵列测量，纳米刻蚀，纳米操纵，高次谐波成像模式；#光场检测范围大于180mm*180mm；#X,Y方向的扫描范围不低于30μm，Z方向不低于5μm；#扫描器闭环噪音：X,Y轴闭环噪音 lt;60pm（Adev,1Hz到1KHz带宽）；#高分辨成像，不需要修正，即可在常规实验条件下实现原子像晶格级成像（现场验收需演示云母、石墨烯、方解石等样品）；★微观测量精度：±0.5 nm；
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| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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