西南交通大学原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购

A****0300电子工业生产设备

采购项目名称：****原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购。一、采购标的及数量：本次采购设备共2台，分别为：原子级刻蚀系统1台；原子层刻蚀等离子体密度测试设备1台。二、主要功能及目标：本次采购设备服务于原子级制造基础理论与关键技术创新研发平台建设，主要用于原子级材料去除的精度控制、工艺一致性提升以及等离子体参数的在线诊断与工艺匹配。1.原子级刻蚀系统：主要用于半导体/金属复合物等材料的原子层级精确刻蚀。通过高稳定射频源、自动放电静电吸附（ESC）、背氦传热温控、高抽速防腐蚀真空系统及整块铝锭无焊缝加热腔体等配置，在不破坏晶格完整性的前提下，实现对刻蚀深度、表面粗糙度的原子层级精确调控，解决现有刻蚀设备在原子级分辨率和实时反馈能力上的不足。2.原子层刻蚀等离子体密度测试设备：主要用于刻蚀过程中等离子体参数的在线诊断与动态监测。通过配置高精度探针及集成三维移动定位控制器，实现对等离子体密度、电子温度及活性粒子组分的精确测量，可在真空环境下工作以减少信号干扰，解决现有诊断手段在空间分辨率和实时性上的不足，有效验证等离子体参数与刻蚀结果的关联机制，填补高精度等离子诊断能力空白。 两台设备协同配合，可完备原子级刻蚀工艺试验、等离子体在线诊断与反馈控制的全流程研发条件。三、质量、服务、安全及时限要求：所有设备须完全满足所列技术参数指标（包括刻蚀系统的晶圆兼容度、温控精度、射频功率、真空极限，以及测试设备的扫描范围、采样速率等硬性指标），整机性能稳定、工艺精度达标，整体质量符合国家及行业相关精密半导体及真空仪器标准；供方负责设备运输、上门安装调试、现场联机标定及操作培训，质保期内维修、上门故障排查，提供技术支持、分析软件升级及备件供应；设备电气、机械、气路及高压/高频射频系统须符合安全规范，具备过载、漏电、急停、温控异常保护及防腐蚀等安全防护功能，运行无安全隐患，****实验室常规供电、气源及温湿度使用环境；合同签订后须按约定时限完成供货、安装、调试及验收。