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| 自适应对焦显微镜 | 1.0/套 | 无 | 无 | 该系统用于对搭载于直线电机高精度运动平台之上的晶圆进行行进过程中成像,可悬空安装于运动平台之上,提供显微成像功能,并可根据晶圆厚度及倾斜变化自适应调整到最佳焦距进行成像,自适应对焦范围不小于 -5.4-10.6mm,晶圆芯片细节清晰无拖影及模糊。 | 提供现场安装支持以及集成开发技术支持。质保3年 |