首页 /微区电子透射键合系统

微区电子透射键合系统

北京 -北京

发布时间： 2026年07月07日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

****2026年8月政府采购意向-微区电子透射键合系统详细情况

微区电子透射键合系统
项目所在采购意向：	****2026年8月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	微区电子透射键合系统
预算金额：	183.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他机械设备
采购需求概况：	微区电子透射键合系统 (1)加速电压：0-60kV可调，稳定度优于1%； (2)最大功率：6kW； (3)束流调节范围：0-100mA，稳定度优于1%； (4)工作范围：60-300mm； (5)最大热熔深度：18mm； (6)设备可实现3班连续24小时工作； (7)X射线泄漏量：＜1μGy/h； (8)设备具有工艺参数记录和读取功能。在辐照过程中，包括高压、束流、聚焦电流和辐照速度等参数均可以在工艺过程中改变； (9)电源采用高频谐振软开关技术，频率可达35kHz以上，屏幕可实时显示高压电源的工作频率及相关状态； (10)设备采用工控机控制，上位机软件能够实时显示系统状态及相关参数，并能够通过电脑控制整套设备运行； (11)具有电子束扫描功能，（正弦波、三角波、锯齿波等）三种波形以上可选，正弦波等波形频率不低于2kHz； (12)真空室带有附加辅助照明； (13)电子枪口带有附加辅助照明，用于辐照区域观察； (14)光斑直径10mm以下可控； (15)局部定位测温传感器，温度测量范围0℃~1000℃，测温精度±0.1℃。
预计采购时间：	2026-08
备注：