中核高通原子层沉积设备样机委托研发服务采购项目（询源采购）-研发项目采购公告

**** -中核高通原子层沉积设备样机委托研发服务采购项目（询源采购）-研发项目-询比采购采购公告

一、项目概况

2.供应商收到第一笔款项后3个月内：完成样机场内加工和组装，具备FAT条件。供应商收到第一笔款项后4个月内：完成样机FAT及场内整改，具备发运条件。

（二）采购合同适用范围：****公司。

（三）供应商需根据本技术规格书要求，完成以下委托研发服务，并向采购方交付满足技术指标的原子层沉积设备样机及相关成果：

1.研发设计：完成整体方案设计、详细设计（含机械、电气、气路、控制软件等），并通过采购方设计评审。

2.制造加工：完成一台原子层沉积设备样机的加工、组装、调试。

3.测试验证：****工厂完成FAT，在采购方指定地点完**装调试及SAT，并协助采购方完成工艺验证。

4.技术成果交付：向采购方交付全套技术文件（图纸、软件、手册等），并明确知识产权归属。

售后服务：提供质保期内的免费技术支持和质保期后的有偿服务。

（一）整机质保期：自设备最终验收合格之日起24个月。

（二）质保期内，供应商负责免费提供所有售后服务，包括但不限于：远程技术支持、现场故障排查、免费更换因质量问题损坏的零部件、确保设备正常运行。

（三）质保期内，若因供应商设计或制造缺陷导致设备无法满足工艺要求，供应商应免费进行整改直至达标。

（四）质保期内，额外需要的工艺开发服务（如沉积新材料、开发新配方）仅收取材料成本和增补设备成本费，不收取人工服务费。

质保期后，供应商应继续提供有偿技术支持，并保证备品备件供应不少于10年。

（一）不锈钢材质腔体；

（二）上下盖均可以加热，温度最高350℃；温度精度：±1℃；

（三）8英寸晶圆；

（四）均匀度：氧化铝可以到±1%；

（五）配氧化铝，HfO2、HZO以及多层膜，交替氧化物的组合工艺；

（六）共6路前驱体，包括Al、Hf（高温）、Zr（高温）和一路高温备用的金属前驱体气路作为掺杂，水蒸气和臭氧气路；

（七）集成臭氧发生器；

（八）全部独立进气，避免交叉污染，6路前驱体，共6个MFC，6个ALD阀门（全部耐高温）；

（九）有避免CVD效应的气路设计；

（十）真空泵为80立方米/小时的油泵；

（十一）控制系统为触屏电脑，方便根据工艺需求编程控制；

（十二）铝型材架子；

提供包括常用氧化物的工艺包。

二、供应商资格要求:

1、基本资格条件：

（1）资质要求：供应商应是中华人民**国境内注册，且具有承担民事责任能力的法人或其他组织，需提供《营业执照》或《事业单位法人证书》。

（2）其他要求：不接受联合体投标。****公司****公司投标。

资格审查方式：资格后审

三、报名方式

本项目采取公开方式选择供应商，有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台（https://www.****.com/）在2026年07月13日 09时00分00秒前报名参加本项目。

四、采购文件的获取加急标书代写

1、采购文件获取地地址：本项目不再提供纸质采购文件，参与本项目的潜在供应商****集团电子采购平台下载采购文件。加急标书代写

2、有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台进行注册。注册账号审核通过后，在首页“用户登录”，输入账号及密码登录系统，依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名，找到《中核高通原子层沉积设备样机委托研发服务采购项目（询源采购）-研发项目》，点击“我要报名”，即可查看项目信息并报名参与项目。****公司审核通过后即可下载本项目采购文件。加急标书代写

五、应答文件/报价文件的递交

1、应答文件递交截止时间：请参与本项目的应答人在（**时间）加急标书代写2026年07月13日 09时00分00秒****集团电子采购平台（https://www.****.com/）登录并上传应答文件电子版。若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求的时间及方式递交：。

2、提交应答文件的方式：在线上传应答文件。（若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求递交，并以在线上传文件为准）

3、未在线报名、逾期上传/送达的、未上传的，采购人不予受理。

六、公告媒体

****集团电子采购平台（https://www.****.com/）发布。对于其他媒介发布的本项目公告，采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在****

七、联系方式

采购人：****

地址：

邮编：

联系人：李工

电话：139****4319

传真：

电子邮件：

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2026年07月07日