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高真空电子束蒸发镀膜设备

山东 -济南

发布时间： 2026年07月08日

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招标单位

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招标估价

招标联系人

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代理单位联系人

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蒸发镀膜设备

招标详情

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***********公司企业信息

高真空电子束蒸发镀膜设备(****)自购结果公示

发布时间：2026-07-07

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：中标金额：

****

310000

公示开始日期公示截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求收货地址

采购清单1

采购物品采购数量计量单位

高真空电子束蒸发镀膜设备

台

品牌规格型号技术参数售后服务

微纳真空	VZS-500FB
真空系统：复合分子泵（抽速：1600 L/s）+直联旋片泵（抽速14 L/s）；真空计（测量范围：1×105 Pa～1×10-5Pa）；真空极限：优于3.0×10-5Pa；样品台旋转：旋转速度0~25转/分连续可调，磁流体密封，光控定位；衬底加热范围室温～400℃；电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率10KW；束偏转角270度；配置一套偏转扫描电源，一套电子枪灯丝电源；速率和膜厚监控系统：膜厚仪速率显示分辨率±0.015，厚度显示分辨率±0.015k；气路单元：两路工艺气体MFC控制，量程范围为0～20 SCCM（O2）\0～100 SCCM（N2）；控制方式：PLC+触摸屏手自一体控制；报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护；
服务网点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时;报修后24小时响应;

****管理部

2026-07-07