材料系原位扫描电镜式原子力显微镜采购采购公告

是否接受进口

接受进口

品牌

Nenovision、HITACHI、BRUKER

型号

LiteScope、AFM5100N、Dimension Edge

技术规格及参数

1. 技术参数
1.1 AFM扫描范围： 开环扫描范围不小于100μm x 100μm x 20μm，闭环扫描范围不小于70μm x 70μm x 15μm，以满足不同尺度的分析需求。
1.2 AFM扫描器分辨率： 具有亚纳米级垂直分辨率，Z轴分辨率优于0.05nm，确保形貌测量的准确性。
1.3 成像噪声： 成像噪声水平需优于40 pm（皮米），以保证高质量成像。
1.4 测量模式： 标配支持SSRM（扫描扩展电阻显微镜）、C-AFM（导电原子力显微镜）、EFM（静电力显微镜）、I-V curves（电流-电压曲线）、F-z curves（力距离曲线）、能量耗散、相位成像、时间分辨谱，可以用于定量分析半导体器件的掺杂浓度和掺杂分布。
1.5 兼容性： 可安装在主流品牌的SEM/FIB-SEM系统中（如赛默飞、蔡司、TESCAN、日立、JEOL等），不破坏原有SEM性能，并且具备快速、可靠且高度重复的安装与拆卸能力，便于在SEM样品台上进行操作。
1.6 联用能力：实现AFM与SEM信号的同步、原位采集，确保获得时空对应的关联图像。
1.7 样品尺寸： 最大支持不小于50mm x 50mm x 8mm、重量不小于100g的样品，以适应多种形态的试样。
1.8 探针系统： 采用自感知探针技术，无需传统激光光路检测系统，避免对SEM电子束产生干扰，可实现SEM与AFM同时运行，同时简化操作流程。
1.9 AFM扫描模块：重量不超500g，保证安装在SEM样品台上不会损坏SEM设备，亦可独立于SEM运行。
1.10 安装便利性:AFM安装在SEM中时不得对SEM造成任何永久性的改变、不得在SEM舱室内安装永久性部件，安装、拆卸时间不超过10分钟。
1.11 操作系统:可通过局域网、Wifi等方式远程登录AFM操作系统，进行远程操作、远程监控和数据调阅

2. 配置清单：
2.1 可安装于SEM/FIB舱室内的AFM主机 1套
2.2 自感应式AFM探针 若干
2.3 SSRM、C-AFM、EFM、I-V curves、F-z curves、能量耗散、相位成像、时间分辨谱等模块 1套

质保期

1年

售后要求

1. 质保期：中标人提供制造商免费质保 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知48小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。如未按上述约定，在收到通知后2个工作日内维修或更换不符或有缺陷的货物或部件，则甲方有权采取必要的补救措施并追究乙方的违约责任，由此导致的责任和费用由乙方承担。 2. 维修响应时间：前述保修期内，如本合同项下的货物出现损坏和故障，则乙方应在接到甲方通知后48小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证。 4. 技术培训：在用户所在地对用户给予一年内免费搬迁已安装调试完毕的合同货物1次、免费调试已安装调试完毕的本合同项下货物1次、免费培训服务1次。