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中南大学 - 竞价公告（CB119422026001690）

公告-招标公告

湖南 -长沙

发布时间： 2026年07月08日

标书代写官方

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2026-07-08 15:49:34 截止时间：2026-07-13 15:48:47加急标书代写

申购主题：立式化学气相沉积系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后30天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算：人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

立式化学气相沉积系统

1.0/套

******公司

CVD-150

1最高温度 950℃，长期使用温度 900℃以内，升温速率最大 10℃/min，二段加热，恒温区长度 120mm，恒温区控温精度±0.2℃ 2石英尺寸内径 150mm,壁厚 5mm,外径 160mm,长度 760mm. 3 衬底机构实现 2-4 英寸生长为主，兼容小片（最小尺寸 10*10mm）。 4 衬底可以旋转，转速 0.1-30r/min. 所有转速均为可稳定实现转速 5 配备两路进气系统及质量流量计，O2流量设计值1L/min，氮气流量设计值3L/min。气体精度：重复性<=设定值的 0.5%；可控工作范围 >= 全量程的 5%~95%。 6 整个腔体：石英接触的上下水冷法兰及衬底托盘为哈式合金材质。 8除排气管**，进气管路全部为 316L 9 衬底与进气喷头之间可调节距离≥50mm。

1按行业标准提供服务； 2售后质保期不低于一年。