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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 规格型号 | 验收准则 | 货期 |
| 抛光垫 | 其他 | 200.0片 | 200.0片 | φ300mm,厚度1.0±0.10mm,孔隙范围46μm,密度0.56±0.05g/cm3,硬度63±5(shoreA),压缩变形量34% | T/JSQA 157-2023 | 30天 |
| 抛光垫 | 其他 | 50.0片 | 50.0片 | φ355mm,厚度1.0±0.10mm,孔隙范围46μm,密度0.56±0.05g/cm3,硬度63±5(shoreA),压缩变形量34% | T/JSQA 157-2023 | 30天 |
| 抛光液 | 其他 | 200.0kg | 200.0kg | 粒径100±25μm,密度>1.1g/ml,PH值11-13,固含量20%,粘度≤10c.p | HG/T 2521-2022 | 30天 |