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教学用光刻匀胶设备 (XJD2026070800008) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年07月08日

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教学采购公告

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教学用光刻匀胶设备 (****) 采购公告

发布时间：2026-07-08 18:20:58

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

教学用光刻匀胶设备	****
2026-07-08 18:20:58	2026-07-12 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	合同签订后40天内送达
	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

教学用光刻匀胶设备

1.00

套

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

此项目包含教学用光刻机1台，教学用匀胶机1台，技术参数如下：一、光刻机： 1．曝光类型：单面； 2．曝光面积：≥110×110mm； 3．曝光照度不均匀性：≤3%； 4．曝光强度：≥40mw/cm2可调； 5．紫外光束角：≤3゜； 6．****中心波长：365nm； 7．紫外光源寿命：≥2万小时； 8．曝光分辨率：≤1μm； 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10．显微镜扫描范围：X：≥±40mm Y：≥±35mm； 11．对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调±15°，细调±3°； 12．套刻精度：≤1μm； 13．分离量；0～50μm可调； 14．接触－分离漂移：≤1μm； 15．曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； 16．找平方式：三点式自动找平； 17．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜0.75X～5X 连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器； 18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19．基片尺寸：φ2、φ3、φ4、“碎片”； 20．基片厚度：≤5 mm； 21．曝光定时：0～999.9秒可调； 22．曝光头转位：气动； 23. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW； 24．洁净空气压力：≥0.4MPa； 25．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 26. 配置：包括LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、附件。 26.1．曝光头： LED紫外曝光头一台。 26.2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、不低于19″液晶监视器一台、图像处理软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）扫描机构一套； 6）LED同轴照**源二台。 26.3．对准工作台： 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、“碎片”承片台各一件； 3）三点找平机构一套； 4）切期曼对准机构一套； 5）微分离机构一套； 6）旋转机构一套。 26.4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）LED曝光头电源一台； 3）定时器一台； 4）电磁阀及控制系统一套； 5）气动、真空仪表一套； 6）控制台一套。 26.5．附件： 1）真空软管； 2）电磁阀二只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 26.6．技术资料： 1）使用说明书； 2）合格证。二、匀胶机： 1. Wafer芯片尺寸范围：不低于10-150mm； 2. 转速范围：不低于0-12,000rpm； 3. 旋涂加速度：≥ 12,000rpm/sec； 4. 马达旋涂转速稳定性能误差：≤±1%； 5. 工艺时间设定范围：不低于1-5999.9 sec/step ，精度≤0.1s； 6.可编程控制； 7. 可存储程序段数：≥ 20个，每个程序段可设置不同步骤的速度状态≥ 51个； 8. 分辨率：≤1RPM，重复性误差：≤1RPM； 9. 配套真空泵浦； 10.配套真空托盘10-150 mm； 11. 可更换的废液接收单元≥2套； 12.配备免费的操作软件，终身免费升级； 13.配水平测试仪； 14.配置 14.1 匀胶机主机 14.2 真空泵 14.3 真空托盘不低于2套； 14.4 安装文档三、其他技术需求 1.万级不锈钢无尘工作台：≥3.8m*3.5 m*2.5 m； 2.气瓶：≥2个，体积≥40L，配减压阀、吹尘枪、气瓶固定架； 3.光刻胶：250毫升美国microchem SU-8-3025≥1瓶、250毫升美国microchem SU-8-3050≥1瓶； 4.显影液：4升 SU-8 Developer≥1桶； 5. 配品牌台式电脑2台：英特尔Core i7 CPU处理器，16G 内存， 1T固态硬盘，Win11 64 位专业版系统操作系统，24 寸液晶显示屏。

一、光刻机交付：合同签订后40日内，货物运送至****指定地点，乙方派员安装、调试，乙方负责免费对甲方操作、维修人员和有关的工艺技术人员进行操作培训、维修培训、设备保养培训，不少于6人次，使之完全掌握全部使用技术，以便使甲方人员正常地使用、维修保养设备，并提供设备操作教学视频。免费提供操作软件，且软件终生免费升级。质保及售后：货物须采用优质材料及先进工艺制造，全新未使用，且完全符合合同约定的质量、规格及性能标准。质量保证期为：产品在甲方安装及调试验收合格后不低于 24个月。质保期内正常操作使用的情况下，因设备质量问题引起的故障，乙方免费维修。质量保证期内，乙方应在接到甲方维修通知后48小时内派人至甲方维修。质量保证期以外的维修乙方只收取成本费，且不超过市场售价8折。二、匀胶机交付：合同签订后40日内，货物运送至****指定地点，乙方派员安装、调试，乙方负责免费对甲方操作、维修人员和有关的工艺技术人员进行操作培训、维修培训、设备保养培训，不少于6人次，使之完全掌握全部使用技术，以便使甲方人员正常地使用、维修保养设备，并提供设备操作教学视频。质保及售后：货物须采用优质材料及先进工艺制造，全新未使用，且完全符合合同约定的质量、规格及性能标准。质量保证期为：产品在甲方安装及调试验收合格后不低于12个月。质保期内正常操作使用的情况下，因设备质量问题引起的故障，乙方免费维修。质量保证期内，乙方应在接到甲方维修通知后48小时内派人至甲方维修。质量保证期以外的维修乙方只收取成本费。